可见与近红外超宽带分光膜的设计与制备.ppt

四.薄膜制备工艺 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 1. 镀膜设备 镀膜机 真空系统 蒸发系统 膜厚监控装置 四.薄膜制备工艺 1—机械泵 2—机械泵放气阀 3—预阀 4—低阀 5—热偶真空规 6—高阀 7—扩散泵 8—电离真空规 9—真空室放气阀 10—真空室 11—蒸发源 12—基片夹 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 这里是不准备仔细讲，还是尚未完工或者没有来得及写？如果是前两种情况，就要口头说明原因。如果根本没有做这些工作，就不要写（至少不要用编号，而是放在一起写，弱化它们），而把1.光学性能测试中的编号去掉。 * 这里是不准备仔细讲，还是尚未完工或者没有来得及写？如果是前两种情况，就要口头说明原因。如果根本没有做这些工作，就不要写（至少不要用编号，而是放在一起写，弱化它们），而把1.光学性能测试中的编号去掉。 * 这里是不准备仔细讲，还是尚未完工或者没有来得及写？如果是前两种情况，就要口头说明原因。如果根本没有做这些工作，就不要写（至少不要用编号，而是放在一起写，弱化它们），而把1.光学性能测试中的编号去掉。 * 可见与近红外超宽带分光膜的设计与制备 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 答辩内容 一.绪论 二.分光膜的设计理论基础 三.膜系设计 四.薄膜的制备 五.测量结果与误差分析 六.总结 七.致谢 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 分光膜的发展历史及研究背景 1.国外的发展现状 1）1970年，Costich，能够存在于空气界面中的金属-介质膜 2）1974年，Mahlein，两层膜组成基本周期膜系制出消偏振膜系 3）1976年，Thelen，“仅用/4膜堆” 镀制消偏振薄膜 4）2005年，Tao Liu，利用光子晶体制备偏振分光器 一.绪论 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 分光膜的发展历史及研究背景 2.国内的发展现状 1）1992年，杨卫萍，He-Ne激光消偏振分光膜 2）1997年，赵洪范，立方二向色分光棱镜 3）2005年，谭 宇，特宽光谱分光膜 4）2007年，王文梁，全介质三波长消偏振平板型分光膜 5）2012年，付秀华，450-650nm波段中性分光的分光膜 一.绪论 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 本课题的研究内容 1) 分光器件的选取 2) 膜系材料的选择 3) 膜系设计 4) 镀膜制备 5) 膜系测试结果分析 一.绪论 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 二.分光膜的设计理论基础 1.薄膜特性分析 单层膜的特性矩阵可以表示为： 多层膜的特性矩阵可以表示为： 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 二.分光膜的设计理论基础 1.薄膜特性分析 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 如此递推下去，整个膜系的特征矩阵表达为： 通过上式就可以求出膜系的透过率和反射率： 透射率： 反射率： 二.分光膜的设计理论基础 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 2.分束镜的特性及分类 二.分光膜的设计理论基础 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 2.分束镜的特性及分类 2005年，谭宇,特宽光谱分光膜的镀制 胶合立方体分束镜 特宽光谱分光膜的镀制 2007年,王文梁,全介质三波长消偏振平板型分光膜的设计 平板分束镜 1997年,赵洪范,立方二向色分光镜 二.分光膜的设计理论基础 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 2.分束镜的特性及分类 金属分束镜 介质分束镜 优点 平坦的分光特性 分束效率高 缺点 分光效率较低 吸收损失较大 对波长较敏感 偏振效应较大 金属分束镜和介质分束镜的比较 三.膜系设计 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 1. 分光膜的设计要求 基底 K9 波长范围 400-800nm 入射角 45° 分光比例 1:1 正负误差 ＜5% 三.膜系设计 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 2. 材料的选择 选取介质膜材料，需要考虑如下性质： 透明度 折射率 机械牢固度、化学性质等 基底与膜料相互之间的附着力 膜料之间是否匹配 考虑要求有特殊功能薄膜的性质 三.膜系设计 长春理工大学光学工程学院2014年本科生毕业设计答辩 2. 材料的选择 材料 蒸发方法 折射率 透明区 备注 MgF2 电子束 1.38(0.55μm) 1.35(2μm) 0.11~10 极硬、张应力大 TiO2 电子束 2.2~2.4(0.55μm) 0.35~12 稳