磁控溅射制备五氧化二钒薄膜的研究3.PDFVIP

李志栓 等 :磁控溅射制备五氧化二钒薄膜的研究 285 磁控溅射制备五氧化二钒薄膜的研究 1 ,2 2 2 1 ,2 李志栓 ,吴孙桃 ,李 　静 ,郭东辉 ( 1 厦门大学 物理系 ,福建 厦门 36 1005 ;2 厦门大学 萨本栋微机电研究中心 ,福建 厦门 36 1005) 摘 　要 : 　采用射频磁控溅射的方法 ,在不同条件下制 (99 . 99 %) ,通过改变衬底的温度 、溅射功率以及氧气 (