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微晶与纳米硅薄膜表面形貌分形特征的研究ViewTableofContents
微微晶晶与与纳纳米米硅硅薄薄膜膜表表面面形形貌貌分分形形特特征征的的研研究究
袁凯华, 戎霭伦, 何宇亮, 万明 and 魏希文
Citation: 科学通报 4411, 1339 (1996); doi: 10.1360/csb1996-41-14-1339
View online: /doi/10.1360/csb1996-41-14-1339
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Published by the 《中国科学》杂志社
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