基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究李元杰何小亮孔艳-物理学报.PDFVIP

基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究 李元杰 何小亮 孔艳 王绶玙 刘诚 朱健强 Shearinginterferometricelectronbeamimagingbasedon ptychographic iterative engine method LiYuan-Jie HeXiao-Liang KongYan WangShou-Yu Liu Cheng Zhu Jian-Qiang 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,134202(2017) DOI: 10.7498/aps.66.134202 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.66.134202 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2017/V66/I13 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 透射光学系统像平面一阶散射光照度分布规律研究 The research on the illumination distribution law of the first-order scattered light in the focal plane of transmissionopticalsystem 物理学报.2017,66(4): 044201 /10.7498/aps.66.044201 基于全相位谱分析的剪切光束成像目标重构 Sheared-beamimagingtargetreconstructionbasedonall-phase spectrum analysis 物理学报.2017,66(2): 024203 /10.7498/aps.66.024203 部分相干条件下的弱散射样品ptychographyiterativeengine成像 Ptychographiciterativeenginewithpartiallycoherentillumination for weakly scattering samples 物理学报.2016,65(18): 184202 /10.7498/aps.65.184202 柱状磁光颗粒的局域表面等离激元共振及尺寸效应 Localizedsurfaceplasmonresonanceandthesizeeffectsof magneto-optic rods 物理学报.2016,65(11): 114202 /10.7498/aps.65.114202 非相干照明条件下的ptychographiciterativeengine成像技术 Ptychographiciterativeenginewiththeincoherentillumination 物理学报.2015,64(24): 244201 /10.7498/aps.64.244201 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 66, No. 13 (2017) 134202 基于电子束剪切干涉的PIE成像技术研究 李元杰 何小亮 孔艳 王绶玙 刘诚 朱健强 1) (江南大学理学院光电信息科学与工程系, 无锡 214122) 2)(中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800) ( 2016 年12 月16 日收到; 2017 年5 月2 日收到修改稿) 提出了基于Möllenstedt 电子双棱镜的电压扫描剪切干涉全场ptychographic iterative engine (PIE) 显微 成像技术. 从低到高逐步改变电子双棱镜的电压, 并同时记录所形成的剪切干涉条纹, 待测样品透射电子束 的强度和相位分布就可以用PIE 算法得以快速重建, 而且双棱镜的方向、位置和实际电场强度分布等诸多实 验中不可避免地偏差都可以在迭代过程中自动得以更正. 所提技术能够克服现阶段用电子束进行PIE 成像的 诸多技术困扰, 从而有望推动PIE 技术在电子显微成像领域的发展和应用. 关键词: Möllenstedt 双