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薄膜材料与薄膜技术习题 薄膜材料与薄膜技术习题 2011年11月19日 　　第一章 真空技术基础 　　1、膜的定义及分类。 　　2、人类所接触的真空大体上可分为哪两种？ 　　3、何为真空、绝对真空及相对真空？ 　　4、毫米汞柱和托？ 　　5、真空区域是如何划分的？ 　　6、真空各区域的气体分子运动规律。 　　7、何为气体的吸附现象？可分几类、各有何特点？ 　　8、何为气体的脱附现象？ 　　9、何为电吸收和化学清除现象？ 　　10、影响气体在固体表面吸附和脱附的主要因素 　　11、目前常用获得真空泵主要有几种类型，各自的特点？ 　　12、何为前级泵和次级泵？ 　　13、何为机械泵，其工作特点是什么？机械泵有哪几种形式？ 　　14、何为分子泵，其工作特点是什么？分子泵有哪几种形式，各有何特点？ 　　15、何为低温泵，按其工作原理可分几种类型？ 　　16、捕获泵再生时必须遵循的要求？ 　　17、按测量原理真空计可分几种，各自的定义及特点？ 　　第二章 薄膜制备的化学方法 　　1、化学气相沉积的主要优点有哪些？ 　　2、化学气相沉积的主要缺点有哪些？ 　　3、在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变量有那些？涉及那几个基本过程？ 　　4、化学气相沉积反应器的设计类型可分成几种，各自特点有哪些？ 　　5、何为激光化学气相沉积，它的主要机制和作用是什么