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对于单一传输测量薄膜光学常数的测定方法:关键综述
摘要:光传输测量通常用于常规薄膜光学常数的测定。本文提出了一种对评估这些传输数据的不同方法概述,因此对于复杂的折射率值有三组不同区分使用的方法:(1)至少使用两种不同的光测量;(2)用色散关系或者一般的物理去约束近似的依赖于波长的折射率的行为;和(3)一个“虚拟”的测量作为第二个变量。该方法从组(2)和(3)(只需要一个单一的传输测量)被作为是更详细的处理和内容的准确性评价。
1 简介
对依赖于波长的精确值的知识的固体薄膜的复折射率非常重要的,无论是从基础技术的观点还是它产生的光能隙的基本信息(半导体和绝缘体),缺陷水平,声子与等离子体频率等。
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