电子工业用气体高纯氯 新华店图书.pdf

ＩＣＳ７１．１００．２０ Ｇ ８６ 中华人民共和国国家标准 ／ — ＧＢ Ｔ １８９９４ ２００３ 电子工业用气体 高纯氯 　 Ｇａｓｅｓｆｏｒｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｉｎｄｕｓｔｒ — Ｈｉｈ ｕｒｉｔ ｃｈｌｏｒｉｎｅ ｙ ｇ ｐ ｙ 发布 实施 ２００３０３０５ ２００３０８０１ 中 华 人 民 共 和 国 发 布 国家质量监督检验检疫总局 ／ — ＧＢ Ｔ １８９９４ ２００３ 前 言 　　 ： 《 》（ 本标准对应于国际半导体设备与材料组织 ＳＥＭＩＣ３．３２ １９９５ 纯度为 ９９．９９６％的氯标准 英文 　　 ）， ： ， ： 版 本标准与 ＳＥＭＩＣ３．３２ １９９５的一致性程度为非等效 主要技术差异如下 ——— 质量指标中增加了对湿度的要求； ——— 对金属杂质的要求改为由用户和供应商之间商定； ——— 检验方法中根据我国的实际水平做了相应的改动。 本标准的附录 是资料性附录。 Ａ 本标准由原化学工业部提出。 本标准由全国气体标准化技术委员会归口。 ： 。 本标准起草单位 光明化工研究设计院 ： 、 。 本标准主要起草人 孔祥芝 佘中玉 Ⅰ ／ — ＧＢ Ｔ １８９９４ ２００３ 电子工业用气体 高纯氯 　 １ 范围 　 、 、 、 、 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求 试验方法 检验规则以及包装 标志 运输及 贮存和安全要求。 ， 。 本标准适用于以工业液氯为原料 采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品 该产品主要用于大规 、 、 、 。 模集成电路 光导纤维 高温超导 铝加工等高新技