可量测微升液体pH值与溶氧浓度的电化学式微流体感测-中兴大学.PDFVIP

農林學報 62(4): 331-341 (2013) - 331 - Journal of Agriculture and Forestry, 62(4) : 331 -341 (2013) 可量測微升液體 pH 值與溶氧濃度的電化學式微流體感測晶片 林孝安[1] 王玠荏[1] 林明杰[1] 吳靖宙[1]* 摘 要 近年來利用微製程製作的微流體生物感測器已受到廣泛重視，可藉由量測微量液體的溶氧濃度 (dissolved oxygen concentration, [O ])與 pH 值的變化，以得知生物體的呼吸活性與酸化率。研究中藉由定電 2 流法沈積氧化銥(IrOx)薄膜於金電極上，用以當作電化學量測系統的參考電極與 pH 感測電極，以建構一全晶片式 電化學感測器。以 0.6~1.0 mA/cm2 電流密度(current density, CD)沈積之 IrOx 電極的 pH 靈敏度與鍍層厚度並 無顯著差異，但 Ir