Q_ZJSN 005-2018超净高纯试剂 氨水.pdf

Q/ZJSN 浙江尚能实业股份有限公司企业标准 Q/ZJSN 005-2018 代替Q/ZJSN 005-2015 超净高纯试剂 氨水 20 18-02-08 发布 20 18-02-08 实施 浙江尚能实业股份有限公司 发布 Q/ZJSN 005-2018 前 言 本标准编写格式按GB/T 1.1-2009的规定。 本标准由浙江尚能电子材料有限公司负责起草。 本标准由浙江尚能电子材料有限公司批准。 本标准主要起草人：阮岳峰、周晓宇。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: －Q/ZJSN 005-2015 Q/ZJSN 005-2018 超净高纯试剂 氨水 1 范围 本标准规定了超净高纯试剂 氨水的分类、要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存 及安全等。 本标准适用于超净高纯试剂 氨水。 用途：碱性清洗腐蚀剂，与过氧化氢等配套使用，主要用于集成电路的生产。 分子式：NH OH 4 分子量：35.05 （按2007 年国际相对原子量）。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于 本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 9728 化学试剂 硫酸盐测定通用方法 GB/T 9727 化学试剂 磷酸盐测定通用方法 GB 15346 化学试剂 包装及标志 Q/ZJSN 020-2015 液体颗粒计数仪颗粒测定通用方法 Q/ZJSN 021-2015 ICP-MS 测定通用方法 3 分类 氨水产品按照纯度不同分为EL 级、SD- Ⅰ级、SD- Ⅱ级、SD-Ⅲ级。 4 要求 4.1 本试剂为氨的水溶液，无色透明并具有刺鼻臭味，在空气中吸收二氧化碳，密度约0.88g/mL。 4.2 氨水(NH)含量：（25.0～28.0）% ；（28.0～30.0）%。 3 4.3 外观与色度：无色透明液体，不得深于10 黑曾单位。 4.4 杂质最高含量应符合表1 规定。 2 Q/ZJSN 005-2018 表1 杂质最高含量 技术指标 项 目 EL级 SD- Ⅰ级 SD-Ⅱ级 SD-Ⅲ级 颗粒(≥0.5um),个/mL —