基于MEMS技术的微型分光光度计-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １４ ６ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ １２ Ｄｅｃ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０６０９９００８ 　 基于ＭＥＭＳ技术的微型分光光度计 ， ， １２ １ １ １ １２ １ 周连群 ，吴一辉 ，张 平 ，宣 明 ，李正刚 ，贾宏光 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室， １． 吉林 长春 ； 中国科学院 研究生院，北京 ） １３００３３２． １０００３９ 摘要：研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用 ＭＥＭＳ工艺制造出了体积小、精 度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝，并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池 的光学特性进行了分析，推导出了透射光强与样品池的折射率、被探测介质的折射率关系式，并进一步分析因折射率引 起光强的变化对吸光度的影响。实验结果表明，该微型分光光度计可以分辨出介质折射率相差 ０．０１介质，同时参比介 质的不同仅仅对 ＡＣ曲线产生平移，而对相关系数和斜率无任何影响，通过对实验数据的计算得到以空气和蒸馏水两 种折射率的介质为参比时的系统相关系数都大于０．９９９，说明所研制的基于 ＭＥＭＳ技术的微型分光光度计具有高度显 著线性相关性。 关 键 词：微硅片对准；微硅片狭缝；微型分光光度计；微小型光纤光谱仪；微光机电系统 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ７４４．１Ｏ４３３．１ Ａ 　　 犕犻犮狉狅狊犲犮狋狉狅犺狅狋狅犿犲狋犲狉犫犪狊犲犱狅狀犕犈犕犛狋犲犮犺狀狅犾狅 狆 狆 犵狔 ， ， １２ １ １ １ １２ １ ， ， ， ， ， ＺＨＯＵＬｉａｎｕｎ ＷＵＹｉｈｕｉＺＨＡＮＧＰｉｎ ＸＵＡＮＭｉｎ ＬＩＺｈｅｎａｎ ＪＩＡＨｏｎｕａｎ ｑ ｇ ｇ ｇｇ ｇ ｇｇ ｇ （ ，