五轴光纤对准系统-PhysikInstrumente.PDF

五轴光纤对准系统 特别适用于阵列器件 F-122  测角仪实现角度优化  集成传感器技术保障安全  长行程达25毫米或10度  最大速度为20毫米/秒或15度/秒 稳健精确的驱动 光纤对准系统的XYZ装置由三个用于实现线性运动的M-122系列机动化线性平台以及用于实现角运动的WT-85和WT- 100测角仪组成。所有平台均具有高精度和高稳健性。所有驱动器都配备了位置传感器，因而能可靠防止与昂贵的硅 晶片发生碰撞等。 大量软件包 光纤对准系统配备齐全的软件包，包含用于所有PI系统的启动和操作的PIMikroMove图形用户软件。 软件包中包含编程界面，以便用户将PI控制器集