微机电与奈米系统多功光学显微量测仪之研制.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 期中進度報告 微機電與奈米系統多功光學顯微量測儀之研製(2/3) 計畫類別：個別型計畫 計畫編號：NSC92-2212-E-002-059- 執行期間：92年08月01日至93年07月31日 執行單位：國立臺灣大學應用力學研究所 計畫主持人：李世光 計畫參與人員：吳文中. 張祐嘉. 陳昭宇. 袁琪葦. 翁漢甫 報告類型：精簡報告 報告附件：出席國際會議研究心得報告及發表論文 處理方式：本計畫可公開查詢 中 華 民 94年3月8日 國 行 年 奈量 MEMS and Nanotechnology Multi-functional Microscope Development NSC91-2212-E-002-059 行92 年08 01 93 年07 31 91 年08 01 94 年07 31 李 理 立 ( 　) 年 參 兩年 參 行 : 立 力 年 奈量 年 年 1. (MEMS) 奈(Nano-Technology) 來 不年 列 精量 了便 易量不 理 不不量異 兩年雷都 勒 Confocal Laser Scan Microscope Particle Size Analyzer Lateral Resolution Enhance 來 不量 奈兩年 力(Standing wave)來 度 年來量 理 行量 奈量 來 奈精量 2.行度 1. FPGA路 精利精度/3 lens 量數 數 () 量 量不度 降 了量 FPGA路 不 來 立 2. 利數 (Point Spread Function) 理 理論 理度理論 理論 行行歩 行利 3. 都 勒 粒量 奈量度 利行奈 粒量 4. 行 度 理論量 5. 量路量 更 量 3.行 3.1 奈量 (microlens) 列都 勒 量 來 奈量 年利 列度 量若 列率度 率度 不便不度 列 量 Morie Lens 列 Morie Lens量Morie Lens 利 利量 不 量量 量 量數 年度量 都 勒 量 了量度 利 量度 年量更 3.2 3.2.1 MicroLens 1950 年 利便不 率 (replication tree) 1 利數量 1 例數 n R R=7 n n n=5 R =16807 R=7 n=3 R =343 數 數量 了 數 2 金 金 精切 金 (master grating) 來 (adhesive) 金 金 兩 若