压电陶瓷微动台的复合控制-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棸 暋 椂 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶椂 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 椂 暋 暋 暋 斒旛旑棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸椂灢棻棽椂椀灢棸椃 压电陶瓷微动台的复合控制 棳棳 棳 棳 棻棽棾灣 棻棽 棻棽 棳 棳 王 俐 饶长辉 饶学军 暋 棬 棳 椈 中国科学院光电技术研究所 四川成都 棻棶 椂棻棸棽棸椆 棳 椈 棭 中国科学院自适应光学重点实验室 四川成都 中国科学院研究生院北京 棽棶 椂棻棸棽棸椆棾棶 棻棸棸棸棿椆 椇 棳 棳 摘要 压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度 为了解决这一问题 采用一种改进的 模型对微动台的 斝斏 暎 棳 迟滞非线性进行了建模 为了提高传统 算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能 将改进的 模型与传统 算法 斝斏斈 斝斏 斝斏斈 棳 暎 棳 棳 组合构成前馈复合控制算法 并进行了微动台的慢速与快速动态定位实验 结果表明 对同频曲线定位时 前馈 斝斏斈复 棳 椈 棳 合算法的最大误差为传统 斝斏斈算法的 棿棸棩左右 平均误差为传统算法的 棽棸棩暙棾棸棩左右 对多频曲线定位时 前馈 斝斏斈 暎 复合算法的最大误差和平均误差为传统 斝斏斈算法的 棾棾棩左右 数据表明前馈 斝斏斈复合算法的动态定位性能明显优于 传统 斝斏斈算法暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 压电陶瓷 迟滞特性 改进的 迟滞模型 前馈控制 动态定位精度 暋 暋 斝斏 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斝棽椃棾斣斘棾椄棿暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸