基于ITO特性的亚波长表面等离子激元波导.PDF

撤 与光电字学进展 Laser0ptoe1ectronicsProgress ⑥2016《中国邀 志 基于 ITO特性的亚波长表面等离子激元波导 王晓艳 王 燕 秦 雪 阎晓娜 张惠芳 何 英 白丽华 上海大学理学院物理系，上海 200444 摘要 透明光学玻璃中的氧化铟锡(ITO)是一种高度简并的半导体，其介 电常数随入射波长变化且为复数。以此 作为介质层 ，设计 了Ag-ITO—Ag波导结构，研究了其表面等离子激元 (SPP)的相关特征参数及 电磁波在该结构 中 的传输特性。具体给出了这种结构波导的场分布、SPP波长、传播距离及色散方程的表达式，讨论了其色散特性 ； 研究了其群速度随入射波长的变化关系，讨论 了介质层厚度对群速度 的影响，以及相 同的覆层结构 (Ag)不 同中心 介质 (ITO，air，SiO )对群速度的影响及其慢光效应 。结果表 明，Ag—ITO—Ag波导结构更有利于光子器件 的小型化 和集成化 。 关键词 表面光学；表面等离子激元 ；金属包覆介质波导；色散 ；群速度 中图分类号 0436 文献标识码 A doi：10．3788／LOP53．052401 Sub-W avelengthSurfacePlasmonPolaritonW aveguideBased on ITO Characteristics WangXiaoyan WangYan QinXue YanXiaona ZhangHuifang HeYing BaiLihua DepartmentofPhysics，CollegeofScience，ShanghaiUniversity，Shanghai200444，China Abstract Indium tinoxide (ITO)，asakindoftransparentopticglass，isahighlydegeneratesemiconductor．The dielectricconstantofITO changeswith incidentwavelengthsand iscomplexnumber．Ag—ITO—Agwaveguide is designedbyITO asdielectriclayers．Thetransmissioncharacteristicsofelectromagmeticwavesinthestructureof surfaceplasmonpolariton (SPP)waveguideandtherelevantcharacteristicparametersofSPP areobtained．Inthis structure，theexpression ofmagneticfield distribution，SPP Swavelength，propagation distanceand dispersion equationarederivedandthedispersioncharacteristicisresearched．Besides，therelationshipbetweengroupvelocity andincidentwavelength isstudied．Theeffectsofthethicknessofdielectriclayerongroupvelocity，differentcore mediums(ITO，air，SiO2)ofthestructurewithsamecladdinglayers(Ag)ongroupvelocityandslow 1ighteffect arediscussed．Theresultsshow thattheAg—ITO—Agwaveguidestructureismorefavorableforminiaturizationand integrationofphoton