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MEMS 与微系统
第六章 RF MEMS
简介
器件
线路
互连
封装 王喆垚
ext. 322
天线 z.wang@tsinghua.edu.cn
微电子学研究所
Institute of Microelectronics
简介 器件 电路模块 互连 封装 天线
简介
无线通信
微电子学研究所
2/60 Institute of Microelectronics
简介 器件 电路模块 互连 封装 天线
收发器
无线通信 镜像抑制滤 中频滤波
波器(陶瓷) 微机械
TFR或微机 器(SAW) 谐振器 接收器
天线1 天线2 械谐振器
中频混频器
ADC I
中频 LNA
微机械
天线 开关 射频 LNA 混频器 90°
开关 T/R VCO AGC
ADC Q
带通滤 开关
Xstal 信道选择
波器 Tank PLL 中频 PLL
(陶瓷)
微机械
TFR或微机 微机械 谐振器
DAC I
械谐振器 开关
90°
功率放大器
片外无 调制器 DAC Q
源器件
VCO
片上电
发送器
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