低温空气等离子体改性PDMS的研究-本原扫描探针显微镜SPM.PDF

真空与低温 第 卷第 期 14 2 VacuumCryogenics 年 月 86 20086 低温空气等离子体改性PDMS的研究 李艳琼,王升高,程莉莉,汪建华 (武汉工程大学,等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北 武汉 ) 430074 摘 要:为了改善聚二甲基硅氧烷( )的亲水性和稳定其电渗性能,采用空气微波等离子体在低温条件下对 PDMS n 其表面进行改性。利用原子力显微镜( )、 射线光电子能谱( )及静态接触角对处理前后的 进行分析。 AFMX XPS PDMS 经空气微波等离子体处理 后, 的亲水性得到极大的改善,水在其表面的接触角接近零度。 结果表明: 3minPDMS cXPS 处理后 表面形成 薄层; 显示空气等离子体处理对 的表面没有损伤。与文献报道的高、中真空氧 PDMS SiO AFM PDMS x . 等离子体处理方法相比,亲水效果基本一致,却大幅度降低了对设备真空系统的要求,并缩短了操作时间,节约了成 本。最佳处理条件为:微波为 3 -1 ,腔体内气压为 ,空气的流量为 ( · ),时间 。 100W 1.0kPa 20sccm1sccm=1cmmin 3min 关键词:聚二甲基硅氧烷;空气等离子体;微波;亲水性能 m 中图分类号: 文献标识码: 文章编号 ( ) O634 A :1006-7086200802-0086-05 ( ) HYDROPHILICSURFACEMODIFICATIONOFPOLYDIMETHYLSILOXANUSING o LOW-TEMPERATUREAIRMICROWAVEPLASMA c , , , LIYan-qiongWANGSheng-gaoCHENGLi-liWANGJian-hua . ( , , , )