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蓝宝石切面图图 晶体结构图上视图 晶体结构侧视图 Al2O3分之结构图 蓝宝石结晶面示意图 最常用来做GaN磊晶的是C面(0001)这个不具极性的面,所以GaN的极性将由制程决定 (a)图从C轴俯看 (b)图从C轴侧看 蓝宝石(Al2O3)特性表 * 11.5(∥c), 9.3(⊥c)? 介电常数 T≈80% (0.3～5μm)? 透光特性 13x10 -6 /K(@633nm) dn/dt no =1.768 ne =1.760? 折射率 25.12W/m/k (@ 100℃)? 热导率 0.418W.s/g/k? 比热 5.8×10 -6 /K? 热膨胀系数 3000℃ 沸点 2045℃ 熔点 9 (仅次于钻石:10) 莫氏硬度 a=4.785? , c=12.991? 晶格常数 六方晶格 晶体结构 3.95-4.1克/立方厘米 密度 Al2O3 分子式 *