俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用.pdfVIP

机械工艺师 　2001. 8 49 俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用 □盛国裕 　杨其华 　俞杭芳 摘要 　介绍俄歇电子能谱仪的测试原理 ,举例说明在失效分析中的应用 。 关键词 :俄歇谱仪 　失效分析 ( ) 中图分类号 :TN99 　文献标识码 :B 　文章编号 :1000 —4327 2001 08 —0049 —03 Applying the auger electron spectroscopy apparatus to failure analysis □Sheng Guoyu 　Yang Qihua 　Yu Hangfang Abstract 　Introduce the measuring principle of auger electron spectroscopy apparatus. applying the apparatus to failure analysis is illus trated. Key words :Auger electron spectroscopy apparatus 　Failure analysis ( ) 　　俄歇电子能谱仪是建立在电子技术 、弱信号检测 纹”特征 ,因此俄歇电子谱 简称 AES 可用来鉴定元素 技术和超高真空技术基础上的一种研究表面的新型测 的种类 。此外 ,俄歇信号强度与试样表面元素的浓度 试仪器 ,它是根据俄歇电子的能量和数量确定材料的 成正比,可根据测得的俄歇谱峰强度确定试样表面的 元素种类和含量 ,它与扫描电镜相结合 ,制成扫描俄歇 元素含量 。 微探针 ,可用于材料的二维表面成分分析 。而表面成 分分析是失效分析的主要测试手段之一 。 　　一 、测试方法 1. 仪器结构 俄歇谱仪的基本结构如图 1 所示 ,它主要由真空 ( ) 系统 、初级电子探针系统 即电子源和电子枪 , 电子能 量分析器 ,样品台 ,俄歇及光电子信号测量系统及在线 计算机等构成 。 2 . 测试原理 　　当能量大于内层电子结合能的电子轰击试样原 图 1 　PHI550 电子能谱仪简图 子 ,使原子的一个内层电子电离 ,并在内层出现空位 , 3 . 样品制备 而其他电子中的一个电子充填此空位 , 同时使另一电 ) 1 用作表面成分分析的样品 ,要求表面平整不受 子脱离原子发射出去 ,这样一个无辐射的过程称为俄 ( 污染 ,可采用传统的金相试样制作方法 粗磨 ———细磨 歇效应 ,发射出去的电子称为俄歇电子 。由于俄歇电 ) ———抛光 ,一般不浸蚀 ,但要避免表面成分因摩擦发 子的能量取决于原子内有关壳层的结合能 ,具有“指 热而发生变化 。 ( ) 弯曲