面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略跟参数优化资料.pdfVIP

　第 4 1 卷 第 8 期 上 海 交 通 大 学 学 报 Vol . 4 1 No . 8 　 　2007 年 8 月 J OU RN AL O F SHAN GHA I J IAO TON G UN IV ER SIT Y Aug . 2007 　 　　文章编号 (2007) 面 向 瓶 颈 的 半 导 体 晶 圆 制 造 系 统 派 工 策 略 及 参 数 优 化 张 　怀 , 　江志斌 , 　郭乘涛 (上海交通大学 工业工程与管理系 ,上海 200240) 摘 　要 : 针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性 ,提出一种动态瓶颈实时派工策略. 它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策 ,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化. 实例 验证表明 ,