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- 2019-02-15 发布于上海
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摘要摘要
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紫外探测器被广泛地运用在军事和生活中,迄今为止,硅基紫外探测器仍然 主导了紫外探测器的市场,它们有着比较高的灵敏度和良好的信噪比以及快的响 应速度。在20世纪80年代末,随着宽禁带半导体材料与器件技术的快速发展, 得益于宽禁带半导体卓越的物理化学性能和潜在技术优势,基于宽禁带半导体的 紫外探测器有望取代传统的硅基紫外探测器,具有更广泛的应用前景和发展潜
力。相比于传统的硅基紫外探测器,宽禁带半导体紫外探测器在对见光盲区的探 测中,不需要用到结构复杂且价格不菲的滤光片,能实现直接探测。因而,宽禁 带半导体紫外探测器在空间通讯、航天航空等领域申都受到了广泛的关注。
氧化锌是一种宽禁带的半导体材料(室温下禁带宽度为3.37 eV),它有着良好 的热稳定性和化学稳定性,在过去20年中,氧化锌材料越来越受到关注。迄今 为止,有许多关于基于ZnO的紫外探测器的报道,诸如光电导型、金属.半导体
.金属(MSM)、p-i.n、p-n结型、肖特基结型等。这些结构的探测器往往需要严格 的外延生长过程,同时需要昂贵的单晶衬底,操作中仍需要外加电压,这些过程 通常都伴随着高昂的费用。
而光电化学电池(PECC)型紫外探测器,可以直接将光信号转化为电信号, 实现探测,这个过程不需要额外的外加电压,是一种自驱动的紫外探测器,材料 的制备过程所需的实验条件并不苛刻,相对容易制得,探测器的探
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