声学扫描显微镜.ppt

扫描声学显微镜;1、显微镜种类介绍;显微镜有很多种类，大致有： 透射电子显微镜(TEM) 扫描电子显微镜(SEM) 场离子显微镜(FIM) 高压电子显微镜(HVEM) 分析电子显微镜(AEM) 场发射电子显微镜(FEEM) 声学显微镜(AM) 扫描隧道显微镜(STM) 原子力显微镜(AFM) ;超高压电子显微镜;透射电子显微镜;扫描电子显微镜;场离子显微镜;扫描声学显微镜;扫描声学显微镜的原理;扫描声学显微镜基本原理;　　　　微波信号源输出连续微波信号，经脉冲调制器形成脉冲调制微波信号，该微波信号通过环行器加到压电换能器上，使高脉冲信号转化为声脉冲，这些超声脉冲经声学透镜的凹端聚焦，并通过藕合介质，投射在样品的表面上，激励样品表面产生表面波。由于声束受到样品的反射、散射和吸收，声波从样品表面返回到压电晶体换能器，并被转换成电信号，通过对该电信号放大、检波、采样、送入计算机处理，可以得到一个象素;随着声束在样品表面上二维(X}y方向)扫描，即可得到一幅完整的声图象。图像上每个信号的灰值，反映了样品相应部分反射信号的强度。同时在垂直于样品方向上(Z方向)移动探头，改变声波在样品内的聚焦位置，就可得到样品内部的声图像。测得的信号电压V)取决于透镜的聚焦性能和焦点材料的物理一机械性能。扫描声学显微镜的核心部分是声学透镜。为了降低声学衰减，透镜体选用高纯材料蓝宝石制成，同时，蓝宝石还是一种高声速晶体，该性质能够有效地减少像差。在透镜体的下端呈凹球面，凹球面尺寸取决于工作频率。当换能器发射平面声波时，由于凹球面的折射，声波聚焦。在蓝宝石透镜体的顶部经抛光后，安装了一个氧化锌压电换能器，其作用是将电振荡与声振荡相互转换。;　　　由于空气对高频声波具有极大的衰减作用，因此声透镜与试件之间是通过祸合介质来连接的。对藕合介质的要求主要有三:一是对声波的衰减尽量小。二是声波在其中的传播速度尽量慢，以获得最低的衍射限制，从而提高分辨率。三是报合介质应具备合适的粘度和湿润能力。研究结果表明，在常温下，蒸馏水是合适的报合介质，且在测试时将水温适当升高，声波衰减特性可得到改善。低温藕合介质(液氮、液氮)有着更优的性能，但受使用条件的限制，目前全世界只有几个大学实验室能够使用低温藕合介质。 　　声学显微镜的分辨率主要决定于焦点处的波长，而波长又受制于声速及声波频率。频率越高，分辨率就越高。另外，扫描声学显微镜的入射波和反射波都聚焦在样品的同一点上，这使显微镜提高了深度鉴别能力并有助于消除聚焦外面的反射。在应用电子反差增强技术后，显微镜的分辨率可提高到稍优于工作波长的水平。当用热水作藕合介质在2 GHz频率工作时，实用分辨率可达0. 65yAm左右。;;声扫描显微镜的性能及在材料科学中应用 （以超声波扫描显微镜C-SAM为例）;C-SAM的服务;主要应用范围;视觉效果 定量分析 自动控制 ;－超声波传输时间测量 －无损伤深度测量 －数字信号分析 －相位测量 —自动XYZ扫描 －自动存储仪器参数 －运用分层运算方法进行自动失效鉴别 －自动滤波参数设置 －换能器自动聚焦 －高分辨率下自动进行高速扫描;KSI v-400E 性能参数;在材料科学中的应用;1.表层成像;2.阻抗成像;　　　　阻抗成像方式不适用于高密度材料(大部分金属、陶瓷和半导体)中的阻抗变化成像。如果Zz ;Zi，???射系数R的变化不明显，R接近于1。在这种情况下，可以采用声表面波(SAW)成像模式。 ;3.声衰面波成像;因此，材料的晶粒组织及结晶学取向的图像在无需侵蚀试样表面的条件下即可获得。这些材料可以是光学各向同性或各向异性的，当侵蚀表面(揭示这些结构的标准技术)是困难的、太费时的或不可能时，这项能力就显得尤为重要。 　　由于表面裂纹能极大地影响Rayleigh波传播特征，因此，声学显微镜是探测裂纹的灵敏技术。可以探测到多么细的裂纹是没有限制的。通过对扫描声学显微镜和扫描电子显微镜的对比试验表明，只要表面间出现原子大小的分离，声图像即会出现较强的反差。 ;　4. V (Z)曲经分析及应用;这就提供了一种在微小区域内辨识材料的手段，它既能用来测不同材料的祥品，也可以用来发现同一样品上各点材料性质的不同。此外，由于表面上存在薄膜时会改变Rayleigh波的速度，因而这种方法又是无损地测量薄膜性质或其厚度的一种手段。 　V(Z)曲线的另一个重要应用研究内容是它决定着所得到的声显微图像的对比度。通过对V (Z)曲线的分析，可以调整透镜位置来使得到的声显微图像有最满意的对比度。 ;结束语;谢谢大家