修改第八章电子光学基础.ppt

2 电磁透镜的聚焦原理 电磁透镜的磁场---轴对称的不均匀分布的磁场 速度为v的电子进入磁场，在A点的受力情况： ① Bz对电子无洛仑兹力作用，电子向前运动； ② Br和v作用使电子做圆周运动，产生切向速度Vt； ③ Vt和轴向磁场Bz作用，使电子受到向主轴靠近的径向力Fr=eVtBz，使电子向主轴偏转。 因此，电子在电磁透镜中的运动轨迹为圆锥螺旋近轴运动。 思考题 1．电子波有何特征？与可见光有何异同？ 2．分析电磁透镜对电子波的聚焦原理，说明电磁透镜的结构对聚焦能力的影响。 3．电磁透镜的像差是怎样产生的，如何来消除和减少像差？ 4．说明影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素是什么？如何提高电磁透镜的分辨率？ 5．电磁透镜景深和焦长主要受哪些因素影响？说明电磁透镜的景深大、焦长长、是什么因素影响的结果？ 二. 分辨本领 电磁透镜的分辨本领由衍射效应和球面像差来决定。 ㈠ 衍射效应对分辨本领的影响 由于衍射效应，物体上的一个点经电子波电磁透镜成像时，在像平面上不是一个点，而是一个圆斑，这个斑称Airy斑. Airy斑的存在降低了透镜的分辨率。 当两个光斑强度峰间的谷值比峰值低19%，人眼刚好能分辨出是两个斑点，此时S1、S2之间的距离为能分辨的临界值，以此为基础得出由衍射效应所限定的分辨本领的公式： 式中： △r。——分辨率 λ——波长 α——透镜的孔径半角 N——介质的相对折射系数 由此可见，孔径半角α越大，△r。越小，分辨本能越高。 ㈡ 像差对分辨本领的影响 球差、像散、色差都会使物体上的点在像平面上成为散焦斑。 像散、色差都可矫正，球差则无法矫正，因此球差成为限制电磁透镜分辨本领的主要因素。 球差 α↓△rS↓ 衍射效应 α↓△r0 ↑ 综合考虑，当△rS = △r0时，分辨本领最佳，此孔径半角为 最佳孔径半角。 景深 1. 概念：透镜的物平面允许的轴向偏差定义为透 镜的景深。 景深 △r。——分辨率 α——孔径半角 2. 影响因素：△r。↑ Df ↑ ; α ↓ Df↑ 例： α=10-2～10-3rad， Df=200 ～ 2000 △r。 △r。=1nm， Df=200 ～ 2000 nm 物体在景深的范围内移动，均可获得清晰的图像，景深越大，就越容易聚焦。 景深长是电子显微镜与光学显微镜的区别之一。 焦长 概念：透镜的像平面所允许的轴向偏差。 用DL表示： M——放大倍数 α——孔径半角 2. 影响因素：当M、△r、α 例： α=10-2rad， M =200 倍 , △r。=1nm，则 DL=8mm 3 在焦长的范围内移动像平面，均可聚焦获得清晰的图像。 焦长长是电子显微镜的又一特点。 * * * * * * * * * §7-1 电子波与电磁透镜 §7-2 电磁透镜的像差和分辨本领 §7-3 电磁透镜的景深和焦长 分辨率：显微镜将成像物体上能分辨出来的两个 点之间的最短距离，称之为分辨率。 △r。≈1/2λ 注意：这个距离指的是物体上的两个点，而不是 像上的点。例：人眼的分辨率0.15mm左 右。 2. 影响分辨率的主要因素： 照明光源的波长