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专利信息
申请号：申请日：
1991/03/19
公开日：
1992/10/07
公告日：
1996/07/24
公开号：
1065102
公告号：
1032376
授权日：
授权公告日：
1996-7-24
专利类别：
发明
国别省市代码：
14[中国|山西]
代理机构代码：
14101
代理人：
庞建英
申请人地址：
山西省太原市迎泽西大街十一号
邮编：
030024
范畴分类号：
25F
名称：
弧光离子渗碳与共渗技术及其装置
国际分类号：
C23C 8/22;C23C 8/30;C23C 8/36;C23C 14/30
申请人：
太原工业大学
发明人：
潘俊德;范本惠;李成明;郑维能;韩晋宏;徐重
文摘：
本发明弧光离子渗碳与共渗技术及其装置，是利用弧光放电现象实现金属表面渗碳及其共渗的新技术及其装置。其特征在于以石墨碳直接作为阴极电弧源的靶材，发射出高密度的碳离子流，依靠碳离子的轰击与扩散在工件表面形成均匀渗碳层，若同时通入氮气即可实现碳氮共渗，若在设置石墨碳靶的同时交替均匀设置金属靶既可实现金属、碳、氮共渗，又能在工件表面形成金属碳氮化合物渗镀层及其金属化合物薄膜，具有渗速快，渗层组织均匀，成分可控，设备简单，成本低等优点。
主权利要求：
一种弧光离子渗碳与共渗技术及其装置，是利用稀薄气体中的弧光放电现象，在真空度为３ｘ１０↑［－１］～５ｘ１０↑［－１］帕，并能充入气体介质、工作气压为８ｘ１０↑［－１］～５０帕的真空容器内，设置可以转动和升降的阴极转动系统和电弧靶源，同时配备抽气、供气和测温装置，其真空容器由钟罩（１）和底盘（７）组成，其阴极转动系统由阴极托盘（１２）、阴极负偏压电源（８）和转动系统（９）组成；电弧靶源由低压直流电源（６）、引弧电极（２）、电弧源靶材（３）、电弧蒸发器（４）、永久磁铁块（５）和冷却装置组成；抽气系统由机械泵（１０）和油扩散泵（１１）组成；供气系统由供气源（１３），送气管路（１７）和进气口（１８）组成；测试系统由光电测温仪（１４）和观察孔（１５）组成；其欲渗工件（１６）置于阴极托盘（１２）上，作为阳极的钟罩（１）和阴极托盘（１２）之间连接一个可调的０～１５００Ｖ的直流负偏压电源（８），在阳极钟罩（１）的不同方位上设置阴极电弧源靶材（３），在阳极钟罩（１）和阴极电弧蒸发器（４）之间连接一连续可调的０～１００Ｖ的低电压，０～２００Ａ的大电流直流电源，本发明特征在于：其一是阴极电弧源的电弧靶材是由石墨碳制成，形成为圆柱状，直径和厚度为φ５０～８０ｘ３５～６０ｍｍ的石墨靶材；其二是在钟罩（１）上不同方位设置的石墨靶材（３）与欲渗工件（１６）成一定的角度；其三是在钟罩（１）上同时在各种角度均匀交替设置石置碳靶和金属靶；其四是在钟罩（１）上设置石墨碳靶的同时，通入氮气实现碳氮共渗；其五是在钟罩（１）上均匀交替设置石墨碳靶和金属靶的同时通入氮气实现欲渗工件表面形成金属碳氮化合物渗镀层和金属化合物薄膜；其六是电弧蒸发器（４）上装有五角形、六角形、八角形、梅花形等各种形状的永久磁铁（５）。
优先权项：
PCT 项
进入国家阶段日：
国际申请号：
国际申请日：
国际公布日：
国际公布号：
国际公布语言：
法律状态：
1999-5-12;因费用终止公告日
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