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当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用
者了解故障的现象，之后要亲自开机观察故障，
这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
当真空镀膜机排除故障应先检测低真空是
否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），
低真空正常后再开主泵，主泵正常后检测下室真
空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真
0c79f0e 真空镀膜设备
空检测检漏，直至达到真空，极限真空、保真空、
恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真
空和真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及真空镀膜机维修方法：
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
0c79f0e 真空镀膜设备
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更
换二位五通阀）
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更
0c79f0e 真空镀膜设备
换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继
电器是否正常）
8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶
圈）
9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
0c79f0e 真空镀膜设备
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻
璃）
二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不
到真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
0c79f0e 真空镀膜设备
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应
清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶
圈老化（更换胶圈）
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损
0c79f0e 真空镀膜设备
坏（更换胶圈）
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重
新压紧）
8、高低预阀是否密封可靠（注油）
常见的真空镀膜机维修方法就分享这么多
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