第09讲压电式压力传感器.pptVIP

第五章 压电式传感器 目　录 §1　压电效应 Piezoelectric Effect 他们发现了一些晶体在某一特定方向上受压时，在它们的表面上会出现正或负电荷，这些电荷与压力的大小成正比，而当压力排除之后电荷也消失。 1881年，他们发表了关于石英与电气石中压电效应的精确测量。 1882年，他们证实了李普曼(G．Lippmann)关于逆效应的预言：电场引起压电晶体产生微小的收缩。 利用压电现象，他们还设计了一种压电石英静电计——居里计。 1. 石英晶体的压电效应 正压电效应 §2　压电材料 压电材料可分为三大类： 一是压电晶体(单晶)，它包括压电石英晶体和其他压电单晶； 二是压电陶瓷(多晶半导瓷)； 三是新型压电材料，又可分为压电半导体和有机高分子压电材料两种。 在传感器技术中，目前国内外普遍应用的是压电单晶中的石英晶体和压电多晶中的钛酸钡与锆钛酸铅系列压电陶瓷。 压电晶体 压电陶瓷 新型压电材料 压电半导体 硫化锌(ZnS)、碲化镉(CeTe)、氧化锌(ZnO)、硫化镉(CdS)等，这些材料显著的特点是：既具有压电特性又具有半导体特性。因此既可用其压电性研制传感器，又可用其半导体特性制作电子器件；也可以两者合一，集元件与线路于一体，研制成新型集成压电传感器测试系统。 有机高分子压电材料 其一，是某些合成高分子聚合物，经延展拉伸和电极化后具有压电性的高分子压电薄膜，如聚氟乙烯（PVF)等。 其二，是高分子化合物中掺杂压电陶瓷PZT或BaTiO3粉末制成的高分子压电薄膜。 常用压电晶体和压电陶瓷材料特性 §2 等效电路和测量电路 二、压电传感器的等效电路 三、压电传感器的测量电路 2、电荷放大器 §3 压电传感器的应用 例2： 压电式压力传感器 例3：压电引信 例4：火炮堂内压力测试 例5：压电式加速度传感器 例6：冲击试验台的标定和检测 例7：汽车安全气囊系统 例8： 气体发生器输出特性测试 例9：振动测量仪 例10： 压电式血压传感器 例11：指套式电子血压计 例12：玻璃破碎报警器 例13：水深测量仪 例14：逆压电效应的应用 例15：用于结冰状况监测的冰传感器 电极结构 预紧力 压电陶瓷：弹丸起爆装置——破甲弹 发射药在堂内燃烧形成压力完成炮弹的发射。 堂内压力的大小，不仅决定着炮弹的飞行速度，而且与火炮、弹丸的设计有着密切关系。 —— 重块质量 —— 加速度 产品过载冲击试验 跌落高度h 被冲击介质：钢、橡胶、塑料、木块 加速度 产品 事故性碰撞：点火信号、电点火管、气体发生剂、 气体、充气、弹性体 密封容器压力测试法 加速度 160 ug ~ 10 g 速度 0.4 ~ 80 cm/s 振幅 4 um ~ 8 cm 转换开关S A： V： D： 积分：振动速度、幅值 Page ? * 传感器与检测技术教程 传感器与检测技术教程 压电器件 受力、表面形变 电荷 压电材料 测量电路 压电效应 压电传感器及其特点 雅克·居里（Jacques Curie）（1856年10月29日-1941年），法国物理学家，蒙彼利埃大学教授。 皮埃尔·居里 (Pierre Curie) (1859 -1906) 居里兄弟 左旋石英晶体 石英晶体的晶轴 　　X 轴垂直的平面上产生的电荷 Qx，它的大小为 式中： 　ｄ11 为压电系数，受力方向和变形不同时压电系数也不同。石英晶体的 　　在这些电介质的一定方向上施加机械力而产生变形时，就会引起它内部正负电荷中心相对转移而产生电的极化，从而导致其两个相对表面(极化面)上出现符号相反的束缚电荷Q 　　当外力消失，又恢复不带电原状；当外力变向，电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应，或简称　压电效应。 　　若对上述电介质施加电场作用时，同样会引起电介质内部正负电荷中心的相对位移而导致电介质产生变形，且其应变 S 与外电场强度 E 成正比： 式中： dt — 逆压电常数矩阵。这种现象称为 逆压电效应，或称 电致伸缩。 1、正（顺）压电效应 2、逆压电效应（电致伸缩） 压电常数 弹性常数（刚度） 介电常数 机电耦合系数 电阻 居里点 压电效应强弱：灵敏度 固有频率、动态特性 固有电容、频率下限 机电转换效率 泄漏电荷、改善低频特性 丧失压电性的温度 压电材料的主要参数 (a)　天然石英晶体； (b)　人工石英晶体； (c)　右旋石英晶体理想外形 　　压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶铁电体。所谓“多晶”，它是由无数细微的单晶组成；所谓“铁电体”，它具有类似铁磁材料磁畴的“电畴”结构。每个单晶形成一单个电畴，无数单晶电畴的无规则排列，致使原始的压电陶瓷呈现各向同性而不具有压电性 BaTiO3压电陶瓷的极化 350 250 250