电子探针显浩微分析.pptVIP

15 第五章 电子探针显微分析 一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分，而在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分析，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。 能谱仪图片 能谱仪的主要性能指标 1、 分析元素范围 能谱仪分析的元素范围为： 有Be窗口的范围为11Na～92U。 无窗或超薄窗口的为4Be～92U。 2、 分辨率 能谱仪的分辨率是指分开或识别相邻两个 谱峰的能力，可用能量色散谱的谱峰半高宽来 衡量，也可用ΔE/E的百分数来表示。半高宽越 小，表示能谱仪的分辨率越高。 目前能谱仪的分辨率达到130eV左右。 3、面扫描分析 电子束在样品表面作光栅扫描时，把X射线谱仪(波谱仪或能谱仪)固定在接收某一元素特征X射线信号的位置上，此时在荧光屏上便对得到该元素的面分布图像。 图中亮区表示这种元素的含量较高 * * 电子探针的功能主要是进行微区成分分析。它是在电子光学和x射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 原理： 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征x射线。 分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析