一种低温共烧压电陶瓷的制备-中国材料进展.PDF

第 卷第 期 中国材料进展 年 月 一种低温共烧压电陶瓷的制备 陈静 王一平 杨 颖 陈 吉 顾新云 南京航空航天大学航天工程学院机械结构力学及控制国家重点实验室 江苏 南京 摘 要 压电陶瓷多层膜的低温共烧特性及压电性能密切依赖于其成分 采用调节压电材料成分 以 四元体系为研究对象 同时添加烧结助剂 来实现多层膜的低温烧结 对多层膜的流延 排胶 烧结 极化等工艺进行探索以优化工艺参数 最终获得 烧结温度下的高致密度多层压电陶瓷 压电性能的测试表明三层结构的压电多层膜陶瓷表观 达 远高于同成分单层陶瓷 的 值 采用多普勒 激光测振仪进行扫频实验 测定了多层陶瓷纵向振动速度的频谱 确定了基于该多层膜压电振子的最优谐振频率 关键词 低温共烧陶瓷 压电陶瓷 多层膜 中图分类号 文献标识码 文章编号 的多层压电陶瓷为研究对象 前 言 低温烧结实现途径及优缺点 相对于传统烧结 低温共烧多层压电陶瓷具有多种 优势 烧结温度低 减少了压电材料中低熔点氧化铅 低温烧结的实现途径 的挥发 从而彻底解决化学计量比偏离的问题 基 目前 国内外有关低温烧结的研究很多 通常都是 于多层压电陶瓷的微电机和作动器具有更低的驱动电 通过添加烧结助剂和改善工艺两个方面进行 主要包括 压 且响应时间的稳定值小于同等条件下使用单层压电 以下几种途径 通过添加烧结助剂降低烧结温 陶瓷材料的器件 易于集成 具有更高的整体性能 度 通过物理或化学方法 提高粉体烧结活性 改 和使用稳定性 可靠性高 耐高温 高湿 冲振 进烧结工艺 如采用热压烧结等 可应用于恶劣环境 因而利用多层压电陶瓷制备的功 各种低温烧结途径优缺点比较 能元器件具有潜在的技术优越性 本文以制备性能优异 上述压电陶瓷材料的低温烧结方法具有各自的优缺 点 添加烧结助剂的方法包括形成固溶体 形成液相 收稿日期 掺杂低熔点添加物来降低烧结温度等 形成固溶体的方 基金项目 科技部 计划项目 教育