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纳米材料的表征技术 引言 透射电子显微镜 (TEM）transmission electron miroscope 一 光学显微镜： 人的眼睛的分辨本领0.1毫米。 光学显微镜，可以看到象细菌、细胞那样小的物体，极限分辨本领是0.2微米。 显微镜的分辨本领公式（阿贝公式）为：d=0.61?/(N?sin?)，N?sin?是透镜的孔径数。其最大值为1.3。光镜采用的可见光的波长为400~760nm。 观察更微小的物体必须利用波长更短的波作为光源。 X射线能不能用作光源？？？ 二 电子显微镜的电子光学基础 1. 历史 1924年德布洛依提出了微观粒子具有波粒二象性的假设。1929诺贝尔物理 例如100 kV电压下加速的电子，德布洛依波的波长为0.037埃，比可见光的波长小几十万倍。 1922年，物理学家布施利用电子在磁场中的运动与光线在介质中的传播相似的性质，可以实现电子波聚焦，研究成功了电子透镜，为电镜的发明奠定了基础。 电子与物质相互作用 当高能入射电子束轰击样品表面时，入射电子束与样品间存在相互作用，有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而余下的约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，主要有： 1)二次电子—从距样品表面l00 ?左右深度范围内激发出来的低能电子。50 eV---SEM 2)背散射电子—从距样品表面0.1—1μm深度范围内散射回来