一种用于微小流量测量的热线式流量传感器的研究探讨.pdfVIP

计量技术　1998. № 8 13 一种用于微小流量测量的热线式流量传感器的研究 才海男　周兆英 (清华大学精密仪器系, 北京 100084) 摘　要　本文介绍了一种用于微小流量测量的热线式流量传感器, 它利用热敏电阻作为发热元件和温 度敏感元件。文中介绍了使用热敏电阻测量微小流量的方法, 分析了它的基本工作原理, 并给出了此种 传感器进行流量测量的实验结果。实践证明这种热线式流量传感器可以在 0～ 25 的流量测量范 mL m in 围内得到较为准确的测量结果。 关键词　热线风速计　流量传感器　微小流量　测量 基于加热物体与流体之间的对流换热。当被加 一、前　言 热圆柱体处于流体之中时, 随着流体速度的增 近 年 来 随着 微 型机 械微 型机 电系 统 加, 圆柱体被带走的热量也增加, 温度下降, 在 ( ) 的出现和发展, 微流量控制系统在医 M EM S 这一物理过程中流速与其圆柱体的温度之间有 学、制药、分析仪器和分子生物学等方面已有实 一定的依赖关系。19 14 年英国人 K in g 就据此 [ 1 ] [ 5 ] 际应用 , 并且在不远的将来将广泛用于计算 发明了热线风速计 , 原理见图 1。 [2 ] 机、通讯、交通、宇航等各个方面 。因而对于微 流体的研究和微型阀、微型泵、微型流量计等微 流体控制元件的要求也越来越高, 用于微小流 量测量的微型流量传感器就是其中的一种, 它 [3 ] 在微流量控制系统中起着重要的作用 。 微流量控制系统指的是流量在每分钟数微 图 1 升至数十毫升的控制系统, 当前研制和使用的 本文所研究的微小型流量计与热线风速计 微流量传感器都是微升级, 即测量范围都小于 基本原理相同, 现采用热线风速计的分析方法 1000 [4 ] , 而更大测量范围的流量传感器 L m in 进行分析。图 1 所示的热交换是一个含有对流、 则很少见, 因而研制流量测量范围在每分钟毫 传导和辐射的非常复杂的过程, 热平衡方程式 升级以至数十毫升的微流量传感器是非常需要 为 和迫切的。本文介绍了一种用于微小流量测量 Q J = Q C + Q K + Q R ( 1) 的热线式流量传感器, 专门用于测量每分钟数 其中, = 2 为加热电流 电阻为 的热线 毫升至数十毫升范围内的流量。这个流量传感 Q J I R I R 器利用了热线式风速计的工作原理, 热敏电阻 上消耗的能量; Q C 为热线与流体的对流散热; 在传感器中作为发