光学系统设计.docx

光电仪器课程设计 PAGE \* MERGEFORMAT 3 西安工业大学北方信息工程学院课程设计（论文） 西安工业大学北方信息工程学院 本科毕业设计(论文) 题目：钢板厚度测试仪 系 别： 光电信息系 专 业： 光电信息工程 班 级： B080104 学 生： 陈旭阳 学 号： 03 指导教师： 吴玲玲 2011年12月 目 录 第一章 引言………………………………………………………2 §1.1研究背景和意义…………………………………………2 §1.2国内外研究现状……………………………………2 第二章 测量原理和方案论证………………2 §2.1激光三角法的基本原理…………………………3 §2.2非接触高精度厚度测量方法…………………4 §2.3 线阵CCD 用于光学三角法测量金属板厚……4 第三章 光学系统设计…………………………………6 §3.1 光源……………………6 §3.2 照明方式………………………………………………6 3.2.1 线阵CCD 用于光学三角法测量位移6 3.2.2 线阵CCD 用于光学三角法测量金属板厚8 第四章 精度分析9 §4.1误差分配9 §4.2 合成9 第五章 总结10 参考文献10 第一章 引言 §1.1研究背景和意义 各种金属板(不透明) 常常需要对它们的厚度进行测量, 当它们的面积稍大时就不能用普通的量具进行测量。通常使用X射线透射法来测厚, 但它的测量精度低, 且有放射性公害。后来国外发展起了光学方法, 其中具有实用价值的就是光学三角法。该法的装置简单方便, 更易和计算机结合, 可进一步做成智能仪器。这种方法还可推广到在轧制生产过程中, 测量金属的板厚, 以便实时控制其轧机的运行,以确保板材所需要的厚度公差在允许的范围之内。特别是一些公差要求较高的薄板, 更是如此。特别是在上世纪六十年代激光出现以后，现代光学因为有了性对理想的光源而得到了迅猛的发展。在这一告诉发展的洪流当中，激光技术在测量方面也得到了广泛地应用。对于光学三角法测量板材厚度，我们也是毫不犹豫地选择用激光作为照明光源。 §1.2国内外研究现状 厚度测量是生产中最常见的测量内容之一,常用量具是游标卡尺或千分尺,这些量具在使用时都必须和工件接触,虽然接触压力不大,但对一些特殊工件,在测量时不允许量具和工件接触,否则会在工件表面上留下压印或划痕. 虽然采用激光厚度仪可以方便快速地实现工件厚度的无接触测量,但测量精度不高,难于满足工件的高精度测量要求. 另外,当被测点要求很多、所测厚度连续变化、材质是复合的情况下,传统测量方法就受到了限制,要做到高精度的测量就显得更不容易. 困此,可用高精度非接触位移传器,测工件表面与测头之间的位移变化所引起的电流变化,利用计算机和所编软件进行数据处理、设定测量点数并控制测量全过程，如此测量过程更加智能化，更高效率和精度。这种方法也是目前最通用的方法，自采用该方法后，对于板材的在线测量技术有了质的提高，不但精度提高很多，也在节约资源、人性化，环保方面做出了重大贡献。所以，基于激光和CCD的光学三角法测量板材厚度技术将会在新形势、新要求下做得更好。 第二章 测量原理和方案论证 §2.1激光三角法的基本原理 激光三角法的基本原理,由光源发出的一束激光照射在待测物体平面上 ,通过反射最后在检测器上成像。物体表面的位置发生改变时,其所成的像在检测器上也发生相应的位移。通过像移和实际位移之间的关系式 ,真实的物体位移可以由对像移的检测和计算得到。激光三角法的框图如图1所示 。 其中：是投影光轴与成像物镜光轴的夹角α；β是光电测试器受光面与成像物镜光轴的夹角，而s和s’ 分别是物距和像距 ,d是传感器上的成像点的偏移 ,而δ为实际的物体表面的偏移。系统的相关参数为：偏置距离D为从传感器到被测表面参考点的距离；测盘范围为最大能检侧到的物体表面的偏移,即|δ| 引的最大值；测量精度,传感器的最小测量单位；分辨率一般指测量的纵向分辨率 ,为测量精度和测量范围之比；横向分辨率为待测物体表面上所取测量点的最小间 距。 为了实现完美聚焦 ,光路设计必须满足斯凯普夫拉格条件；成像面、物面和透镜主面必须相交于同一直线 , 如下图2.1中X点所示。系统的非线性的输人输出函数为： （2.1） （2.2） 其中：为三角测量系统的固定参数。当物体偏转δ较小时，(2.1)以近似为线性关系： （2.3） 图2.1 激光三角法的原理框图 激光三角法的另一项重要的参数为线性度,就是三角测量法输人和输出关系线性近似程度。可以证明,在三角测量中,可以通过缩小测量范围,增大接收透镜的共扼矩,增大三角