碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究-上海交通大学.PDF

ＭＥＭＳ 与传感器 ＭＥＭＳ ａｎｄＳｅｎｓｏｒｓ 　 　 碳纳米管场效应型ＤＭＭＰ气敏传感器研究 ， ， ， ， ， ， 陈海燕 陈长鑫 戴振清 杨 志 魏良明 徐 东 张亚非 　 　 （ ， ） 上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 ２００２４０ 　 ： （ ） 、 、 摘要 基于单壁碳纳米管 ＳＷＣＮＴ 的场效应气体传感器由于具有传感性能好 体积小 室温 ， 。 操作和加偏压自我解吸附等优良性能 有着广泛的应用前景 利用单壁碳纳米管自组装技术在 ／ ， 基底上制备均匀分布的 薄膜 将其作为沟道制作了具有灵敏开关特性的场效应 ＳｉＯ Ｓｉ ＳＷＣＮＴ ２ 晶体管 （ ），该 器件的开关比达到 ５。将此 器件作为气体传感芯片用于甲基膦酸 ＦＥＴ ＦＥＴ １０ ＦＥＴ （ ） 。 ， ， 二甲酯 ＤＭＭＰ 气体分子的检测 结果显示 当通入ＤＭＭＰ 气体时 器件的阈值电压向负栅 －６ 。 ， ， ， 电压方向移动 当ＤＭＭＰ体积分数为 ５×１０ 栅压为－１０ Ｖ 时 器件的灵敏度达到 ３２％ 响 　 应时间为 。在 的栅压下器件能够很快地实现气体解吸附。 ３００ｓ １５Ｖ 　 　 ： ； ； ； ； ／ 关键词 碳纳米管 场效应器件 气体传感器 解吸附 ＳｉＯ Ｓｉ ２ 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ３８３ ＴＰ２１２ Ａ １６７１－４７７６ ２０１２ ０１－００４５－０５ 　 　 Ｓｔｕｄ ｏｎＣａｒｂｏｎＮａｎｏｔｕｂｅｓＢａｓｅｄＦｉｅｌｄＥｆｆｅｃｔ ｙ 　 　 　 　 －