最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差.PDF

激光与光电子学进展 , ( ) « » ５４ ０４１２０４２０１７ C２０１７ 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差 , , , , 张 敏 高松涛 苗二龙 隋永新 杨怀江 　 , 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林 长春 １３００３３ , 摘要 为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响 提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的 　 . , , ; , 方法 首先 保持支撑工装不动 旋转待测镜检测各子孔径面形 然后 用最大似然估计法计算出支撑造成的面形 ; , , . 误差 最后 各子孔径面形数据减去估算出的支撑面形误差 利用拼接算法拼接出全口径面形 以全口径直接测量 , , . 结果为基准进行对比实验 验证了该方法可去除支撑造成的面形误差 提高了拼接检测精度 ; ; ; ; 关键词 测量 干涉检测 子孔径拼接检测 支撑 测量误差 　 中图分类号　O４３６　　　文献标识码　A : / doi１０．３７８８LOP５４．０４１２０４ MaximumLikelihoodEstimationMethodtoEliminateSu ortin pp g ErrorinSubaertureStitchin Interferometr p g y Zhan Min GaoSontao MiaoErlon SuiYonxin Yan Huaiian g g g g g j g StateKe Laborator oA liedOtics ChanchunInstituteoOtics FineMechanicsandPhsics y y f pp p g f p y ChineseAcadem oSciences Chanchun Jilin１３００３３ China y f g Abstract　 Inordertoeliminatethemeasurementerrorcausedb thesu ortofthesubaerturestitchin