蓝宝石隔膜真空计SPG系列采用了蓝宝石静电容量式压力传感.PDFVIP

No. CP-SS-1881C （初版） 蓝宝石隔膜真空计 SPG系列 概　要 蓝宝石隔膜真空计S PG系列采用了蓝宝石静电容量式压力传感器、 是具有高精度、高可靠性、高耐腐蚀性的小型 ・轻量的隔膜真空计。 主要用于半导体工艺流程。 特　长 • 采样高耐腐蚀性、高耐热性的单晶体蓝宝石 感压部材料采用具有高耐腐蚀性、高耐热性、机械特性优异的 单晶体蓝宝石 ，通过静电容量检测方式 ，即使在高温检测环境 下也可实现高的检测重复性。 • 检测误差小 采用先进的信号处理技术、实现了温度特性、直线性等误差小 的检测。 • 小型／轻量的本体 • 迅速启动和稳定的温度控制 通过采用先进的显微机械加工技术形成的蓝宝