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真空用自动平台-5相步进电机.PDFVIP

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  • 2019-07-03 发布于湖北
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真空用自动平台-5相步进电机.PDF

    Motorized Stages 真空用自动平台－5相步进电机 VSGSP-(X) 采用了可用于高真空的极限位置传感器的，适用于真空环境使用的自动平台。 ◦直动系列具有35〜200mm的行程，而且和SGSP系列一样结构紧凑。 应用系统 信息 光学元件· 在电机部，和极限位置传感器部处，附有1m长的散线。 薄膜产品 ▶ 还备有其他多种真空用途的底板，支架类产品。 D023

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