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第7章气体量、湿度量的测控 7.2 湿敏传感器用其应用 绝对湿度和相对湿度 绝对湿度：一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位g/m3，一般用符号AH表示。 相对湿度：气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 正特性湿敏半导瓷的导电机理认为这类材料的结构、 电子能量状态与负特性材料有所不同。当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时, 导致其表面层电子浓度下降, 但还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反型程度, 此时仍以电子导电为主。 于是, 表面电阻将由于电子浓度下降而加大, 这类半导瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。 如果对某一种半导瓷, 它的晶粒间的电阻并不比晶粒内电阻大很多, 那么表面层电阻的加大对总电阻并不起多大作用。 不过, 通常湿敏半导瓷材料都是多孔的, 表面电导占的比例很大, 故表面层电阻的升高, 必将引起总电阻值的明显升高; 但是, 由于晶体内部低阻支路仍然存在, 正特性半导瓷的总电阻值的升高没有负特性材料的阻值下降得那么明显。如图给出了Fe3O4正特性半导瓷湿敏电阻阻值与湿度的关系曲线。 3. 典型半导瓷湿敏元件 （1） MgCr2O4-TiO2湿敏元件 氧化镁复合氧化物-二氧化钛湿敏材料通常制成多孔陶瓷型“湿-电”转换器件, 它是负特性半导瓷, MgCr2O4为Ｐ型半导体, 它的电阻率低, 阻值温度特性好, 结构如图所示, 在MgCr2O4-TiO2陶瓷片的两面涂覆有多孔金电极。图7.8 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器的相对湿度与电阻值之间的关系, 见图7.9所示。传感器的电阻值既随所处环境的相对湿度的增加而减少, 又随周围环境温度的变化而有所变化。  （2） ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件ZnO-Cr2O3湿敏元件的结构是将多孔材料的电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上, 并焊上铂引线, 然后将敏感元件装入有网眼过滤的方形塑料盒中用树脂固定而做成的， 其结构如图所示。  ZnO-Cr2O3传感器能连续稳定地测量湿度, 而无需加热除污装置, 因此功耗低于0.5 Ｗ, 体积小, 成本低, 是一种常用测湿传感器。 三、湿敏电容 所谓湿电容，是利用具有很大吸湿性的绝缘材料用为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。 当相对湿度大时，吸湿性介质吸必收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加，所以电容量增大。 吸湿介质： 多孔性气化铝 高分子吸湿膜 1. ZHG型湿敏电阻及其应用 图7.15为ZHG湿敏电阻的湿度检测电路： 振荡器、对数变换器、滤波器、放大器 四、湿敏传感器的应用实例 第7章 气体量、湿度量的测控 7.1 气 敏 传 感 器及其应用  用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。 气敏传感器是一种能将气体中的特定成分（浓度）检测出来，并将它转换成电信号的器件。气敏传感器一般用于环境监测和工业过程检测， 将检测到的气体成分和浓度转换为电信号的传感器 现代社会存在的各种气体，需要进行检测和控制，如： 气体成分 煤矿瓦斯浓度 环境污染 煤气泄漏 火灾报警 燃烧 气敏传感器及其分类 气敏传感器的种类较多，主要有： 气体种类 气体量 气体成分 常用的有半导体式和接触燃烧式 半导体式气敏传感器适用于检测低浓度的可燃和有毒气体 接触燃烧式气敏传感器主要用于可燃气体的检测。 半导体气敏传感器优点 灵敏度高、响应快、使用寿命长和成本低、应用广 气敏传感器及其分类 半导体气敏元件接触气体后，半导体性质变化 检测特定气体的成分或浓度 半导体气敏传感器可分为两类： 电阻式和非电阻式 电阻式半导体气敏传感器利用气敏半导体材料，如： 氧化锡(SnO2)、氧化锰(MnO2)等金属氧化物制成敏感元件 敏感元件吸收可燃气体烟雾，发生还原反应、放出热量 元件温度增高、电阻发生变化 (可燃气体：氢、一氧化碳、烷、醚、醇、苯、天然气和沼气等) 利用半导体材料的这种特性，将气体成分和浓度变换成电信号 进行监测和报警 一、 半导体气敏传感器工作原理 对乙醚、