带电粒子束的聚焦和传输--电子离子透镜.PDFVIP

带电粒子束的聚焦和传输 --电子离子透镜 西安交通大学 康永锋 电子光学 第4单元 P.3 n 圆电子透镜的像差 r (r ,) f i 电子光学 第4单元 P.4 n 像差的概念和分类 从前面的章节中，我们知道旋转对称电磁场对带电粒子具有聚焦成像 的特性，由此可以构成圆电子透镜。 根据圆电子透镜结构和形式，以及轴上的电位和磁位分布可以定义不同形 式的圆电子透镜。 根据旁轴轨迹方程可以得到圆电子透镜对带电粒子具有的理想聚焦成 像性质。此时，得到的像是几何相似的，清晰的，原因是理想聚焦成像是建立 在以下几个条件下： （1）电磁场的严格旋转对称； （2 ）电子满足近轴条件，即建立在求解高斯 （旁轴）轨迹方程的基础上； （3）电子的初速相同 （没有能散）； （4 ）电子的密度不大，忽略了空间电荷影响； 电子光学 第4单元 P.5 n 像差的概念和分类 理想聚焦成像的情况，物平面上整个像场内的物的图像将转移成像到像平面上， 所形成的图像应清晰, 且图像与物严格地相似。实际上，旁轴条件不能完全满 足，出现聚焦成像模糊不完全清晰，或出现物与像不相似或失真，都称为聚焦 成像的像差。 l 根据像差的物理来源，像差分为以下大类： a)几何像差 (Geometric Aberration)―― 来源于旁轴条件不满足，电子束粗 （离轴较源），斜率 （束角）较大。 b)色像差 (Chromatic Aberration) ――来源于加速电位零散初始热运动能 量分散、电极电压及激磁电流不稳定和波纹。 c)空间电荷像差 ――来源于束电流加大，自身空间电荷电场及磁场导致散焦作 用。 d)衍射像差 ―― 来自带电粒子的波动性。Airy 园。 e)非旋转对称性像差 ―― 来源于材料不均匀、加工不园、装配的对中误差， 机械像差。带有随机性，不易研究。这是细束电子束也存在的一级像差。通过 完善对中操作和使用消像散器解决。 电子光学 第4单元 P.6 n 像差的概念和分类 定量的像差定义： 实际 （非旁轴）轨迹与相同初始条件的单色高斯轨迹在高斯成像平面上比较的 误差。 x(z ) x(z ) x (z ) i i g i y(z ) y(z ) y (z ) i i g i 电子光学 第4单元 P.7 n 像差的概念和分类 , 、 像差的非线性性质和逐次近似分析的概念： 即使在完全的旋转对称、单能量、没有空间电荷效应、没有电子衍射的单个电子、 在旁轴条件不满足时，通过把时间为自变量的运动方程通过