多工型卧式高精密微小4轴CNC加工机之研发及其应用-子计画一微奈.PDF

行 精 奈 類 行 年年 行 立 參理 理 論 理 年 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 多工型臥式高精密微小4軸 CNC 加工機之研發及其應用- 子計畫一：微奈米加工技術研發(3/3) 計畫類別： □個別型計畫 ■整合型計畫 計畫編號： NSC 95-2218-E-002-008- 執行期間：2006 年 08月 01日至 2007 年 07月 31日 計畫主持人：廖運炫 教授 計畫參與人員：張廷彥、楊光美、孫韓岳 成果報告類型依經費核定清單規定繳交( ) ：□精簡報告 ■完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 ■出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立台灣大學機械工程學系暨研究所 中 華 民 國 96 年 07 月 30 日 1 多工型臥式高精密微小4軸 CNC 加工機之研發及其應用- 子計畫一：微奈米加工技術研發(3/3) 計畫編號： NSC 95-2218-E-002-008- 執行期間：2006 年 08月 01日至 2007 年 07月 31日 主持人：廖運炫 教授 計畫參與人員：張廷彥、楊光美、孫韓岳 Email: liaoys@ntu.edu.tw 一、中、英文摘要 高深寬比微結構目前多以 LIGA 、類LIGA 、蝕刻和部分的微機械加工法製造，這 些技術可製出極其微小的外型且具高深寬比的微結構，但相對的也需較高的成本，部分 製程亦僅適於特定材料，本計畫主要目的在提出一製造高深寬比微結構的製程技術，並 探討其可行性。製程中先以一般泛用型的精密線切割放電加工或以總計畫開發之微細加 工機中微高速銑削加工、精密研磨加工等方法切出微細溝槽，再以精密蠟油充當犧牲層 填入其中。接著以精密微電鑄的技術基使界面層成長一層電鑄層，最後以熱水浸泡溶出 蠟而獲得高細長比微流道結構。實驗證實，此製程可製出槽寬 220µm 深寬比 300 之微 流道，表面粗糙度可達 Rmax 0.5µm 。與LIGA 、類LIGA 、蝕刻製程相比，計畫中提出 之製程更具彈性、所需時間較短且成本低，具有可行性。另外，亦可配合需求製作出不 同斷面形狀及多層之高深寬比微結構。 關鍵詞：高深寬比、線切割、微銑削、電鑄 Abstract The micro parts with high aspect ratio are most often fabri