基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计.PDFVIP

激光与光电子学进展 51, 041201(2014) Laser Optoelectronics Progress ©2014《中国激光》杂志社 基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计 周 游 刘世杰* 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海 201800 摘要 研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法：三面互检法。该方法需要三个被测平面，两两组合测量，就能够得 到被测平面在通过其中心两个垂直方向的线轮廓数据。根据Matlab和VC混合编程思想，设计了带界面的三面互检 计算软件，能够对任何一台干涉仪所采集到的实验数据进行快速计算，并进行了实验验证，得到了所测干涉仪参考平 晶的绝对面形，相对于Zygo软件计算误差为3%。 关键词 测量;三面互检;Matlab;VC;混合编程 中图分类号 O436 文献标识码 A doi: 10.3788/LOP51.041201 Three-FlatTestingProgramDesignBasedonMatlaband VCMixedProgramming ZhouYou LiuShijie KeyLaboratoryofHighPowerLaserMaterials,ShanghaiInstituteofOpticsand FineMechanics,ChineseAcademyofScience,Shanghai 201800,China Abstract Aninterferometricmethodfortheabsolutetestingofopticalflats,three-flattesting,isstudied.This methodneedsthreeflats,whicharecombinedinpairsindifferentpositions,andmeasurementsyieldavertical profileofdataandahorizontaldataprofilealongthediameterofthereferenceflat.AccordingtoMatlabandVC mixed programming, three- flat test of mutual inspection procedures is designed to quickly calculate experimentaldatawiththehelpofaninterferometer.Experimentsaredonetoachievehighaccuracyflatness measurement,andthecalculationerroris3%relativetotheZygosoftware. Keywords measurement;three-flattesting;Matlab;VC;mixedprogramming OCIScodes 120.3180; 120.4630; 120.4640 1 引 言 在光学干涉计量领域中，一般的光学面形检验方法是相对测量法，测量结果是实际被测平面相对于干 涉仪系统误差及参考平面误差的偏差。但是当测量精度要求在 λ/20 以上或者更高时，就必须消除干涉仪自 身的系统误差和参考平面误差，这样才能保证检测结果的准确性，于是就提出了平面的绝对检测方法来解 决高精度平面面形检测的问题。 平面绝对检测就是通过消除干涉仪参考平面误差对测量结果的影响来得到测试平面的绝对表面(绝对表 面是指实际表面相对数学上的理想表面的偏差)。最早的传统三面互检方法由Schulz等[1-2]在1967~1976年提 出并发展，这种简单的方法利用三面两两组合测量数据，计算出每个平面的绝对质量，即可检测出平面上沿 直径的几条线的轮廓。还有很多绝对检验的方法也被相继提出[3-7] ，但都是基于传统的方法进行扩展，并且 计算的稳健性都没有传统的三面互检方法好。所以本文基于传统的三面互检方法进行程序设计，所用到的 软件为MatlabR2