机械式光栅拼接稳定性全闭环控制技术研究.docVIP

PAGE 68 机 械 工 程 学 报 第39卷第2期期 PAGE 2 月2003年2月 徐 江等：基于神经网络的双层辉光离子渗金属工艺预测模型的研究 机 械 工 程 学 报CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING第39卷第2期 机 械 工 程 学 报 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第39卷第2期 2003年2月 Vol.39 No.2 Feb. 2003 机械式光栅拼接稳定性全闭环控制技术研究*1、请按照红色字体更正及批注在此文章中进行修改。2、论文结构和格式，请参考邮件附件中的 1、请按照红色字体更正及批注在此文章中进行修改。 2、论文结构和格式，请参考邮件附件中的“论文模板”，并将文章复制在模板上。注意字体大小及行距。 3、文中数据图形要求采用origin8.0以上版本作图，软件设置要求参考附件，由软件生成的图片保存为tif格式。 4、中文字体采用宋体，西文字体采用Times New Roman 5、若有基金资助，请在首页左侧以角注形式标明 6、修改后请将批注删除，红色字体只有删除后才能重新输入为黑色字体 7、请将修改稿上传到网站以及发送到cjmezhang@126.com中 邵忠喜 韩德东 周维江 梁迎春 （哈尔滨工业大学机电工程学院 哈尔滨 150001） 摘要：激光惯性约束聚变对机械式拼接光栅的稳定性提出了更高的要求，采1、摘要内容需300-500字，包括研究目的、采用方法、试验结果和得出的结论。注意，中英文意义需要一致。摘要中不用“我们” 1、摘要内容需300-500字，包括研究目的、采用方法、试验结果和得出的结论。注意，中英文意义需要一致。 摘要中不用“我们”、“本文”、“作者”和“笔者”等 关键词：惯性约束聚变；光栅拼接；高精度控制；高稳定性控制；位姿监测；全闭环控制 中图分类号：TP273+.5 Research of the full closed-loop control technology to the stability of the mechanical grating tiling SHAO Zhongxi HAN Dedong ZHOU Weijiang Liang Yingchun (Dept. of Mechanical Engineering Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) Abstract：英文摘要采用被动语态、现在时，不要出现“Author”，“this paper”等The Inertial Confinement Fusion puts forward higher requirement on the stability of the mechanical grating tiling. The full closed-loop control technology is applied to achieve high stability of the grating tiling. In order to improve the stitching accuracy of the grating device, the motion performance of flexible mechanism is analyzed and the accurate motion control algorithm of the splicing mechanism is deduced in theory. With using the capacitive micro displacement sensor as the feedback element, the position and posture monitoring algorithm is derived. The single neuron adaptive PID full closed-loop control for the stability of the grating tiling is realized by comprehensive application of the motion control algorithm and the position and posture monitoring algorithm. The optics inspection system is designed to carry out the stitching experim