DWDM窄带滤光片膜层的误差分析与监控策略.pdf

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2019-02-25 发布于福建
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第! 卷# 第! 期激# # 光# # 技# # 术 2345 ! ，.35 ! $% 年% 月 ’()* +),-.//01 6789 ，$% # # 文章编号：::; !%（$% ）!; !:!; = !!# 窄带滤光片膜层的误差分析与监控策略 :，$ : ! $ 李晓平，易新建，史铁林（:5 华中科技大学光电子工程系，武汉=!= ；$ 5 华中科技大学微系统研究中心，武汉=!= ）摘要：为了提高密集波分复用（?@?A ）薄膜窄带滤光片制备的成品率，讨论了用于?@?A 薄膜窄带滤光片在镀制过程中的监控方法及误差，采用A38B9 ,CD43 允差分析原理分析用于?@?A 窄带滤光片膜层的容差，以便选择更易制备的膜系；计算膜层的ACE493F 极值灵敏度，得到所选膜系各个膜层的误差要求；模拟光学监控过程和计算膜层导纳，能够得到膜层制备过程中膜层之间膜厚的补偿关系。实验表明，据此制定的膜厚监控策略，对于?@?A 窄带滤光片膜层的制备和保证成品率是非常关键的。关键词：光学；窄带滤光片；误差与膜厚监控；密集波分复用中图分类号：/== 5 = G :# # # 文献标识码：’ $%%% ’(’)*+,+ ’(- .’/,(0 /1,.2(3++ .(/%) 43/1- 5% /13 (’%%6 7’(- !!# 5,)/3% ! #$%’( $)* :，$ ，+ #$)’, $%): ，-. /$0’1$)$ （:5 ?9HCDBI98B 3J /HB3;)49EBD38KEL )8MK899DK8M ，-N(+ ，@7OC8 =!= ，,OK8C ；$ 5 P8LBKB7B9 3J AKED3LQLB9IL ，-N(+ ，@7OC8 =!= ，,OK8C ） 87+/%’./ ：+3 KIHD3R9 BO9 HD3F7EBKRKBQ 3J JCSDKECBK38 3J BO9 8CDD3T SC8F ?@?A JK4I JK4B9D ，BO9 I38KB3DK8M I9BO3F C8F 9DD3D K8 E3CBK8M BOKL JK4I KL FKLE7LL9F5 A38B9 ,CD43 I9BO3F KL 7L9F B3 I3F94 BO9 B349DC8E9 3J BO9 4CQ9D J3D BO9 JK4B9D ，C8F BO9 D9L74BL CD9 7L9F B3 L949EB BO9 9CLQ E3CBK8M JK4I LQLB9I5 +O9 JK4I BOKEU89LL 9DD3D 3J 9CEO 4CQ9D KL 3SBCK89F SQ EC4E74CBK8M BO9 ACE493F ICVKI7I L98LKBKRKBQ5 +O9 E3IH98LCBK38 3J BO9 JK4I BOKEU89LL S9BT998 9CEO 4CQ9D KL 3SBCK89F SQ I3F94K8M BO9 3HBKEC4 I38KB3DK8M HD3E9LL9L C8F BO9 JK4I CFIKBBC8E95 +O9 LBDCB9MQ 3J E38BD344K8M BO9 JK4I BOKEU89LL KL 3SBCK89F BOD37MO BO9 CS3R9 I9CL7D9L，C8F BO9 9VH9DKI98BL OCR9 HD3R9F BOCB BOKL KL ED7EKC4 B3 E3CBK8M BO9 JK4I J3D BO9 JK4B9D C8F KIH3RK8M BO9 HD3F7EBKRKBQ5 93* 6%-+ ：3HBKEL ；8CDD3T SC8F JK4B9D ；9D3DD C8F BOKEU89LL E38BD34