16通道微型集成滤光片制备技术的研究.pdf

第! 卷第# 期 红 外 与 毫 米 波 学报 782( ! ，98( # !$$% 年 月 ’( )*+,-,./ 012213( 4-5.6 :;;6= ，!$$% 文章编号：$$ ? @$# （!$$% ）$# ? $!A ? $# ,- 通道微型集成滤光片制备技术的研究 林C 炳，C 于天燕，C 李大琪，C 刘定权，C 张凤山 （中国科学院上海技术物理研究所，上海C !$$$D ） 摘要：多光谱成像光谱技术正在向光谱通道更多、集成度更高、体积小和重量更轻的方向发展，而用于分光的多通 道滤光片是其关键光学元件，需要相应发展新型多光谱窄带集成滤光片制备技术F 提出了组合刻蚀法布里B珀罗 （GBH ）滤光片间隔层的方法，将光学薄膜制备技术，离子束刻蚀技术与掩膜法技术相结合，形成新的多通道集成滤 光片的制备方法F 并在单个微型基片上，成功制备了集成% 通道窄带线阵滤光片，获得的单元滤光片几何线宽为 $F A33 ，相对半峰全宽优于F $I ，透射峰定位精度优于$F !I F 这一方法不但可满足集成度更高的滤光器件的要 求，而且拓展了薄膜制备的方法F 关C 键C 词：光学薄膜；集成滤光片；组合刻蚀法；多通道滤光片；微型滤光片 J##C C 文献标识码：: 中图分类号： ./012 34 456!785/739 34 ,-)8:599; =78!3 79/;!5/;1 47/;! K)9 L1* ，C MN O1-*BM-* ，C K) P-BQ1 ，C K)N P1*BQ;-* ，C RS:9T G.*BUV-* （UV-*V-1 )*6=1=;=. 8+ O.WV*1W-2 HVX61W6 ，YV1*.6. :W-/.3X 8+ UW1.*W.6 ，UV-*V-1 !$$D ，YV1*- ） 5?+(*’#( ：0;2=1B6Z.W=,;3 13-1* 6X6=.3 16 =.*/1* =8 [.W83. 63-22., ，38,. 1*=.,-=./ ，21V=., -*/ 38,. 6Z.W=,;3 WV-*B *.26 ，-*/ 6Z.W=,;3B/151/1* 3;2=1BWV-**.2 +12=., 16 8*. 8+ W,1=1W-2 .2.3.*=6 8+ =V. 6X6=.3F : *.\ .++.W=15. =.WV*828X 16 *..B /./ =8 3..= =V. ,.];1,.3.*=F : *.\ 3.=V8/ *-3./ W83[1*./ .=WV1* =.WV*828X \-6 Z,.6.*=./ V.,. [X -/^;6=1* =V. =V1W_B *.66 8+ 6Z-W. 2-X., 8+ GBH +12=.,F O,-/1=18*-2 W8-=1* =.WV*828X \-6 W83[1*./ \1=V 18* .=WV1* -*/ 3-6_1* =.WV*1];. =8 +-[,1W-=. 3;2=1BWV-**.2 1*=.,-=./ +12=.,6F : %BWV-**.2 31W,8 1*=.,-=./ *-,,8\ [-*/ Z-66 +12=., \-6 +-[,1W-=./ \1=V1* - 63-22 61E. 6;[6=,-=.，\V86. +.-=;,. 61E. 8+ ;*1= +12=., \1/=V 16 $F A33 ，,.2-=15. V-2+ \1/=V 8+ Z.-_ =,-*6316618* 16 2.66 =V-* F $I ，-*/ Z.-_ Z861=18* 28W-=18* -WW;,-WX 16 [.*.-=V $F !I