多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定-中国有色金属标准质量信息网.DOC

YS ××××—201× PAGE PAGE I 中华人民共和国工业和信息化部 发布××××-××-××实施××××-×× 中华人民共和国工业和信息化部 发布 ××××-××-××实施 ××××-××-××发布 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定 Test Method for Measuring Composition of PolySilicon Deposition Reactor and TCS to STC Converter Vent Gas （送审稿） YS/T xxxx-201x i YS 中华人民共和国有色金属行业标准 ICS 29.045 H 80 YS/T ××××—×××× YS/T ××××—×××× PAGE II 前 言 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本标准负责起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司。 本标准参加起草单位：天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司。 本标准主要起草人： 敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、王阿丽、古行乾。 本标准首次制定。 PAGE 4 PAGE 3 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定 1 范围 1.1 本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉