型自感应原子力显微镜测头及标定(1).pdfVIP

第9卷第2期 纳米技术与精密工程 V01．9No．2 andPrecision Mar． 201l 2011年3月 NanotechnologyEngineering 小型自感应原子力显微镜测头及其标定 赵 健，郭 彤，马 龙，傅 星，胡小唐 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) 摘要：设计了一种小型轻敲式自感应原子力显微镜(AFM)测头以实现缈纳尺度下的几何量测量．轻敲式测头 采用石英音叉式自感应探针，通过自身的电信号输出检测悬臂梁的振幅变化，无需额外的光学传感器．设计了测头 的微弱自感应信号放大电路。并补偿音叉寄生电容对测量的干扰．机械结构紧凑便于将测头固定于光学显微镜下 观察测量情况，同时屏蔽外界的干扰．利用显微激光多普勒测振系统，标定了测头机电耦合系数为145nm／V，由此 可以计算测头工作频率下悬臂梁的振幅．搭建了以纳米测量机(NMM)为高精度定位平台的测试系统，利用该系统 对测头进行彩退针实验，标定测头的灵敏度为O．47nm／mV，NMM内置的干涉仪保证标定直接溯源至“米”定义． 实验表明测头的非线性误差小于1％。测量范围在百纳米级． 关键词：原子力显微镜(AFM)测头；轻敲模式；自感应探针；机电耦合系数；高精度定位平台 中图分类号：TH741．4文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2011)02旬168舶 andCalibrationof AFMHead Development CompactSelf-Sensing ZHAO Jian，GUOTong，MALong，FUXing，HUXiao—tang ofPrecision and (State Technology University，Tianjin300072，China) KeyLaboratory Measuring Instruments，Tianjin mode atomicforce was for Abstract：Atappingself-sensing microscope(AFM)headdeveloped compact micro—nanodimensionalmeasurement．A fork was intothe the quartztuningself-sensingprobeintegrated whichcoulduseitselectricaltodetect variationsofthecantileveranddidnotneed head signal amplitude external sensor．Adetectioncircuitwasconceivedto theweakcurrentinthe any optical signal amplify andto fortheinherent ofthe fork．A mechanicalde— probe compensate capacitancequartztuning compact hasbeenrealizedtoassembletheheadunderthe forth