激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计.PDF

第１１卷　第６期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．１１　Ｎｏ．６ 　 　　 　　　　　　　 ２０１８年１２月　 　 　 Ｄｅｃ．２０１８ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１８）０６１００１１０ 激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计 １，２ １ １，２ ３ 张　爽 ，朱万彬 ，李　健 ，鲁秀娥 （１．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 １３００３３； ２．中国科学院大学，北京１０００３９； ３．长春相干光学机电技术有限公司） 摘要：光斑质量直接影响激光位移传感器测量的精度。为了提高激光位移传感器传感探头光学系统的成像质量，设计了 传感探头四片式微小型光学系统。本文在理想成像基础上，分析光束在光学系统中能量传递的变化规律，对比光电探测 器的感光能力，利用光学设计软件（ＺＥＭＡＸ）实现了激光位移传感器传感探头微小型光学系统的设计。通过理论计算分 析，严格控制传感探头孔径光阑的大小，对光学系统进行优化处理，成像最大弥散斑半径低于３３ ｍ，空间分辨率 １２０ μ ｌｐ／ｍｍ以下的传递函数ＭＴＦ（ＭｏｄｕｌａｔｉｏｎＴｒａｎｓｆｅｒＦｕｎｃｔｉｏｎ）值大于０５，光线扇形图的最大像差小于５ ｍ，畸变量低于 μ ０１８５９％。该光学系统具有良好的成像效果，可以满足激光位移传感器探测系统对成像系统成像光斑质量的要求，以保 证传感器的测量精确度优于５ ｍ。 μ 关　键　词：微小型光学系统；ＺＥＭＡＸ；光斑质量 中图分类号：Ｏ４３９　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ１００１ Ｄｅｓｉｇｎｏｆｍｉｃｒｏｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｆｏｒｌａｓｅｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｓｅｎｓｏｒｓｅｎｓｉｎｇｐｒｏｂｅ １，２ １ １，２ ３ ＺＨＡＮＧＳｈｕａｎｇ ，ＺＨＵＷａｎｂｉｎ ，ＬＩＪｉａｎ ，ＬＵＸｉｕｅ （１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，Ｆｉｎｅ ＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００３９，Ｃｈｉｎａ； ３．ＣｈａｎｃｈｕｎＣｏｈｅｒｅｎｔＯｐｔｉｃｓＥｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｏ．Ｌｔｄ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｃｉｏｍｐｌａｓｅｒ＠１６３．ｃｏｍ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｓｐｏｔｑｕａｌｉｔｙｃａｎｄｉｒｅｃｔｌｙａｆｆｅｃｔｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇａｃｃｕｒａｃｙｏｆｌａｓｅｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍ ｐｒｏｖｅｔｈｅｉｍａｇｉｎｇｑｕａｌｉｔｙｏｆｓｅｎｓｉｎｇｐ