SEM电子显微镜原理与应用课件.ppt

SEM 扫描电子显微镜 引言 电子与固体试样的交互作用 扫描电镜结构原理 表面形貌衬度原理与应用 原子序数衬度原理与应用 扫描电镜的主要特点 电子与固体试样的交互作用 二、二次电子 二次电子是指在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品的核外层电子。 二次电子的能量较低，一般都不超过50 ev。大多数二次电子只带有几个电子伏的能量。 二次电子一般都是在表层5-10 nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。 不能进行微区成分分析 三、吸收电子 入射电子进人样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽,最后被样品吸收。 当电子束入射一个多元素的样品表面时，则产生背散射电子较多的部位(原子序数大)其吸收电子的数量就较少。 可进行微区成分定性分析。 四、透射电子 如果被分析的样品很薄．那么就会有一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。 它含有能量和入射电子相当的弹性散射电子，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。 可进行微区成份定性分析 五、特征Ｘ射线 当样品原子的内层电子被入射电子激发，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的Ｘ射线释放出来。 用Ｘ射线探测器测到样品微区中存在一种特征波长，就可以判定这个微区中存在着相应的元素。 　六、俄歇电子 在特征