镀膜机标准作业指导书.docxVIP

PAGE \* MERGEFORMAT 16 **公司 **** 标准作业指导书 版本：1.1 编制人： ******* 审核人： 会签人： 批准人： 1目的： 指导操作人员正确操作设备，防止因操作不当造成的生产异常及安全事故，确保正常运转，保障**站生产正常进行。2适用范围 工作站。 3修订详情 版本 修订人 详情 审核人 批准人 初 *** 撰写 4 职责 4.1生产部 4.1.1 镀膜站操作员工严格按照本指导书所规定操作步骤进行操作，严禁私自更改操作步骤，出现问题及时上报。 4.1.2 镀膜站班长监督当班操作员工作，发现问题及时以书面形式上报，带领当班操作人员做好日常维护工作，在设备正常的情况下保证镀膜生产的正常运行。 4.2技术部 4.2.1 及时解决蒸发台生产部门上报的技术问题，并做出详尽明确的书面解决方案，同时负责监督实施。 4.3设备维护部 4.3.1 按照《蒸发台设备维护保养表》的要求，定期对蒸发台进行日常维护，及时处理生产部门上报的蒸发台设备异常，并按要求填写相应记录表单。 5参考文件列表 5.1《作业流程》 5.2《操作步骤》 5.3《异常处理》 5.4《蒸发台设备维护保养表》 5.5《蒸发台生产记录表》 5.6《蒸发台物料使用表》 5.7《前工艺环境管理规范》 6文件要求 6.1作业流程 开门 开门 取镀盘 清理坩埚 确认金属源 上片 关门 检查密封圈 挂镀盘 开EB-Gun 调用程序 开门 送至下道 观察记录数据 摘片 6.2操作步骤 序号 操作步骤 示意图 操作要点和注意事项 1 开门 腔体门打开后，用腔体右上角的挂钩将门固定。如果有金铍等合金物质在腔体内，务必先等腔体降温到30℃以内再开腔体。 2 取镀盘 操作时要戴乳胶手套，戴口罩，腔体附近操作时严禁说话。固定镀盘的卡子要放在底部防着板的左下角。 3 清理坩埚 先用手术刀片和改锥等工具将坩埚边缘以及内部的金属剔除，再用吸尘器将剔除的金属吸走，最后用蘸酒精的无尘布擦干净坩埚表面。 4 确认金属源 P电极蒸发要确认坩埚内放有钛源和铝源，N电极蒸发要确认坩埚内放有镍源、锗源和金源。其他特殊工艺参看工艺流程单要求或实验申请单要求来确认金属源。 5 上片 上片前先将蒸发台腔体门关闭。将待加工的工件平均放置在三个镀盘上。严禁用手触碰被加工工件，没有加工物的载片盘上放置陪片，禁止私自刮出镀盘上的金属。如需清理，必须至少有两个与此工作站相关人员在场。 6 挂镀盘 用提盘把手将放好工件的镀盘装入腔体，用卡子将镀盘固定好，旋转单个镀盘，确认已经卡紧，再旋转镀盘支架，确保行星转能正常运转。 7 检查密封圈 腔体门的密封圈有时会被挤出，关门前检查密封圈是否完好，如果被挤出，用镊子将挤出的部分回复原状，确认没问题后再进行下一步操作。 8 关门 将腔体门关闭，找到抽真空界面，点击抽真空步骤的“START”，设备自动抽真空，此时严禁拉动开门把手。 9 开EB-Gun 开高压电子枪之前要确认前道步骤已经完成，关门之前严禁开高压电子枪。 10 调用程序 根据工艺的不同，调用相应的镀膜程序。 11 观察记录数据 将蒸发过程中的信息详细记录在蒸镀生产记录表上。 12 开门取镀盘 图略，参考第“1”“2”步骤图片 与第“1”“2”步操作相同。 13 摘片 按照投片顺序，依次取出加工完成的工件。 14 送至下道 详细记录相关数据后，将加工完成的工件送至下道操作工序。交接必须有双方交接人员签字 6.3异常处理 生产部生产异常 生产部生产异常 上报设备维护部 生产确认正常 提出解决方案 上报生产技术部 技术确认 分析蒸发台问题 分析工艺问题 处理蒸发台异常 生产继续进行 技术部跟踪实验 生产继续进行 生产确认可行 设备 工件工艺 6.4相关规定 参考《前工艺环境管理规范》 附页： 1，物料规格清单； 2，物料使用记录单； 3，蒸镀生产记录表； 4，蒸发台设备维护保养表。