单晶硅多晶硅生产工艺与性质特点(80页)(1).pptVIP

目录 硅的含量及存在形式 国内硅矿分布情况 国外硅矿的分布 据资料记载，巴西较为丰富，次之为马达加斯加和危地马拉。美国、加拿大、苏联、法国、意大利、印度、澳大利亚、土耳其、缅甸等30多个国家和地区有少量资源。 硅的分类 工业硅 工业硅的纯度约为98%-99%，又称为冶金级硅。 其中含有各种杂质，如Fe、C、B、P 等 工业硅的价格 工业硅的生产方法 工业硅的用途 （1）配制合金 （2）制造高纯半导体 （3）制造有机硅 （4）制作耐高温材料和其他材料 配制合金 高纯半导体 有机硅 耐高温材料和其他材料 全球多晶硅价格行情 多晶硅的用途 我国及全球多晶硅生产情况 我国多晶硅厂家生产情况 改良西门子法 改良西门子法主要包括五个环节 反应原理 氯化氢合成炉 SiHC13的合成在沸腾炉中进行 SiHCl3的氢还原在还原炉内进行 尾气回收 活性炭吸附纯化氢气 尾气回收装置 改良西门子法产生的废气物 反应产生的三氯氢硅，氯化硅，氯化氢均为主要空气污染物的卤化物。 四氯化硅是最改良西门子法生产时产生的主要的污染物。 硅烷法 反应原理 硅烷法小结 硅烷热分解法能耗仅为40 KW·h／kg 硅烷不但制造成本高，而且是有毒、易燃、易爆、安全性差，因此，工业生产中，硅烷热分解法的应用不及西门子法。 流化床反应法 流化床示意图 各种工艺比较 多晶硅具有半导体性质，是极为重要的 优良半导体材料 电子工业中广泛用于制造半导体收音机、 电冰箱、彩电、电子计算机等的基础材料 多晶硅的最终用途主要是生产集成电路、 分立器件和太阳能光伏电池板 太阳能电池的制备和发电原理 改良西门子法 1 硅烷法 2 流态床反应法 3 太阳能级多晶硅的制备传统方法 西门子法，即采用H2还原SiHCl3生产高纯多晶硅的方法，由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利，1965年左右实现了工业化。 改良西门子工艺流程图 SiCl4的氢化分离 尾气回收 SiHCl3的氢还原 精馏提纯SiHCl3 SiHCl3的合成 三氯氢硅的合成 Si+HCl SiHCl3+H2 三氯氢硅的还原 4SiHCl3 Si +3SiCl4 +2H2 SiHCl3 +H2 Si+3HCl SiCl4+2H2 Si+4HCl Si+3HCl 工艺所用设备 氯化氢合成炉 沸腾炉 还原炉 工作原理： 固体燃料在炉内被向上流动的气流托起，在一定的高度范围内作上下翻滚运动，并以流态化(或称沸腾)状态进行燃烧的炉膛，又称流化床燃烧炉。 还原炉示意图 尾气的回收就是将尾气中的有用成分，主要是H2、SiHCl3、SiCl4和HCl等，通过物理和化学的方法使之分离，经过提纯后再应用于生产中。在多晶硅生产过程中，尾气主要来自于以下两个工序，SiHCl3氢还原工序，SiCl4氢化工序。 尾气回收方法主要有冷冻法和吸附分离法 尾气回收示意图 从吸收塔顶部出来的氢气被送到活性炭吸附柱进行吸附，以除去其中含有的极少量氯硅烷和氯化氢，获得纯净的氢气。纯氢气可以直接返回相应的原工序中使用。 废气物的利用 将四氯化硅转化为多晶硅的原料三氯氢硅，进而返回生产系统直接生产 多晶硅，实现生产线的闭路循环。 利用四氯化硅作为原材料生产其他化工产品。 改良西门子法小结 1 改良西门子法是目前占有优势的主要方法 2 3 4 产量占当今世界总量的70％——80％ 国外用该法生产的多晶硅纯度为9～11N 直接电耗可降到60—70 kW·h／kg 题目 硅烷法工艺流程图 硅烷热分解法，即利用甲硅烷(SiH4)的热分解反应制取高纯硅。 硅烷制法 硅镁合金法工艺 Komatsu 硅化镁法 金属氢化物工艺 MEMC公司发明的新硅烷法 氯硅烷歧化工艺 Union Carbide 歧化法 流态床反应法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅。 * 硅的简介 硅的性质及分布 工业硅的生产 多晶硅的生产 未来的展望 在地壳中，硅的含量居第二位 自然界中，只以化合态存在，是构成矿物和岩石的主要成分 我国的水晶、石英、天然硅砂除上海、天津市以外，其它省、市、自治区均有产出。 质量较好的广东、广西、青海、福建、云南、四川、黑龙江等省区；质量最好的有海南、江苏。 危地马拉 巴 西 马达加斯加 元素属性 颜色和外表： 深灰色、带蓝色调 名称：硅 符号：Si 序号：14 系列：类金属 族：第四主族 周期： 3 硅的性质 物理性质： 沸点：2355℃ 熔化热：50.55kJ/mol 蒸气压：4.77Pa（1