废液转换为废水回收.PDFVIP

1 製程廢液減量3P計劃 宋哲銘1 游智評2 周文朕3 1台灣積體電路製造股份有限公司F3E廠 cmsungd@ 2台灣積體電路製造股份有限公司F3E廠 jpyu@ 3台灣積體電路製造股份有限公司F3E廠 wcchou@ 台灣積體電路製造股份有限公司 三廠廠務部 © 2007 TSMC, Ltd 2 Agenda 一. 前期成果及廢液減量動機 二. 廢液來源及源頭分析 三. 廢液減量對策擬定 1. [回收生財]M2廢液回收轉賣 2. [源頭減量]有機廢液源頭管理降低含水率 台積首創 3. [製程變更] 自動分流加製程物料轉換降低Cu廢液 四. 廢液減量對策執行 五. 效益成果分享 © 2007 TSMC, Ltd 一. 前期成果及廢液減量動機(1/2) 3  3P:污染預防有回報(Pollution 、Prevention 、Pay) 1P:廢水來源(Pollution) 2P:預防手法(Prevention): 廢水處理流程 水質分析改管回收 IC Wet bench 機台 製程廢水水質分析 機台廢水管路 改管(AWDAOR) Bump UBM機台 製程廢水水質評估 機台廢水管路