真空镀膜机技术指标.DOC

真空镀膜机技术指标 用 途：本产品主要用于光学零件真空制备激光膜镀膜 主要结构：真空室体、真空获得系统、工件转动系统、水冷却系统、气动系统、蒸发镀膜系统、电器控制系统等组成 1.真空室： 1.1.内腔尺寸：φ800×1000mm 。蒸发室与抽气室整体连接。底板为22mm，壁厚为5mm。 1.2.形式：立式前开门，室体门有装饰面板。 1.3.材料：优质不锈钢U304材料；外壁通冷却水。 1.4.防污板：真空室内衬优质不锈钢材料防污板，装卸简单方便（二套）。 1.5.观察窗：门上部斜趋式窗口一个，门下部中央设观察窗口一个。窗口为直接水冷式，装备有耐高温玻璃、防辐射玻璃和防强光防护镜。 1.6.门上配备高压保护装置及开门限位装置。 2.真空系统： 2.1.极限真空：2.8×10－4Pa。。 2.2.恢复真空时间：大气→4×10－3Pa≤15min。 2.3.漏气率：在极限真空达到后关闭所有阀门,一小时真空度应≤3×10-1Pa。 2.4.测试方法：按照GB11164真空镀膜机通用技术条件测试，测试仪器为ZDF－Ⅲ型数字真空计。 2.4.1.真空度检测位置在抽气室侧面及在蒸发室电子枪上 方200mm处。 2.4.2 2.4.3. 蒸发室烘烤后、经干燥氮气充气。 2.4.4.低真空测量：ZJ-25型电阻规，测量范围1×103 Pa～10-1Pa。 2.4.5.高真空测量：ZJ-27型电离规，测量范围10Pa～10-5Pa。 2.4.6. 测量规管加金属保护套。 2.5.真空系统配置： 2.5.1.TK－630扩散泵+2X－70机械泵（TK－630扩散泵抽速12000L/S， 2X－70机械泵抽速70L/S）。 2.5.2.为了有效防止扩散泵返油，在泵口上方配紧密型水冷阱。 2.5.3.在抽气口设置百叶窗挡板和防滑片栅网，拆卸清洗方便 2.6.真空系统测量点：电阻规二点、电离规一点。 2.7.德国宝德放气阀，设置在真空室顶部及真空管道上。 2.8.为提高镀膜质量，增加防喘流抽气小管道。 2.9.真空室内密封圈应能承受高温烘烤，各部分密封安全可靠。 3.夹具： 3.1.中心吊挂，中心驱动方式，结构转动平穏。径向跳动≤2.5MM;轴向跳动≤2.5MM。 3.2.水冷套安装座保护齿轮、轴承等传动件，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。 3.3.夹具转速：0→31rpm,无级可调。采用直流调速器，稳定可靠。 3.4.标准球面帽形工件盘一套，不锈钢材料 ，尺寸φ720mm,R=700mm。 3.5.夹具上开孔尺寸和夹持方式由甲方确定，乙方加工。 4.烘烤装置： 4.1.烘烤方式：从上向下烘烤，功率为6Kw。 4.2. 发热元件：采用进口管状加热器。 4.3.控制方式和指示：PID系统自动控制和指示温度仪表（日本岛彦产M-3型数字温控仪，手动/自动控温）。 4.4.最高温度：350℃，可控可调，控制精度差≤1 4.5.温度不均匀性≤5％。 4.6 烘烤罩为360度球帽状。 5.蒸发源： 5.1.电阻蒸发源:蒸发室布置一对水冷式电阻蒸发源，功率4KW。 5.2. 配新型WTQE-27010型电子枪二支。配单电源双扫描。电子枪灯丝电源：束流稳定度优于±1%，束流表采用数显，便于观察。 5.2.1.电子枪扫描电源：高频自动扫描。横向扫描频率：0～350Hz；纵向扫描频率：0～35Hz 5.2.1.功率6KW; 5.2.2.灯丝阳极电压置：4KV;6KV二挡。 5.2.3.右枪坩埚为八穴（穴容22Lm）,有坩埚衬套；左枪为环形坩埚，均为直接冷却式。 5.2.4.配双持手动式操作盒。 5.3.气动档板二个，档板内面装不銹钢栅网。 汽缸控制挡板开闭，防止已经蒸镀的膜料重新落入坩埚内。挡板的开启由自动镀膜系统单独识别。 5.4.配二套固定式修正板。用户自配修正叶片。 6. 晶振测厚仪: 6.1. 增加配置美国英福康公司SQC-310单头探头晶振测厚仪。 6.2. 可实现电子枪束流膜厚、挡板、坩埚转位、修正板的自动控制及完成镀膜工艺的自动过程。 6.3. 控制功能：对整个膜系镀制过程实现自动控制，根据预先设置膜料的功率曲线（启动高压和灯丝电源等），自动识别蒸发源，自动控制坩埚转位、蒸发速率、膜层厚度、挡板启闭、工作气体O2自动充气等，即从第一层自动转到下一层，直至整个镀制结束，并恢复初始状态。 6.4. 探头安装方式：从真空室顶部安装 ，晶体位置处有防污罩(仅露出监控点)，且拆卸、安装方便。 7.辅助镀离子源 配北京尤大伟￠120mm考夫曼离子源（加配阴极灯丝一只）。 8.充气系统 8.1. 配北京七星华创200cc质量流量计二台（单路，其中一台为双阀控制），用