退火气压对Bi325La075Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 :’ $$M ， ， ， L+, @:’ T+ @ D/WGPGR $$M （ ） )$$$-#M$2$$M2:’ $ 2 )(-$( VI3V 0YZ6[IV 6[T[IV $$M IO4S @ 0OR* @ 6+J @ 退火气压对! ’( + , 铁电薄膜的微观结构 # $% ) $* # -% 和铁电性能的影响! ! 李建军 于 军 李 佳 杨卫明 吴云翼 王耘波 （华中科技大学电子科学与技术系，武汉 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$’ ( )% $$’ % $ 采用 法在 （ ）衬底上制备了 （ ）铁电薄膜，研究了在 时不同 *+,-./, 012345 2 645 2 7-64 )$$ 84 ; 34 5 8;3 %:$ = # 9: $ 9%: # ) 退火气压（ ： — ）对薄膜微观结构和电学性能的影响 和拉曼光谱结果表明在 和 氧气压 ! 5 )$ # 1? @ ABC )$ # 1? 下退火的薄膜晶化度明显降低 同时， 结果反映出 ) 氧气压下退火的薄膜具有 轴择优取向 截 @ ABC )$ 1? @ D6EF 面形貌显示 氧气压下退火的薄膜由与 轴取向相对应的柱状晶粒构成， 氧气压下退火的薄膜为由随 $ 9 ) 1? ) 1? 机取向相对应的斜杆状晶粒构成 薄膜的微观结构最终影响了其铁电性能 氧气压下退火的薄膜具有最大